探針臺系統(tǒng)四探針法測量半導(dǎo)體電阻率測試方案

概述

電阻率是決定半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的重要參數(shù)，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。半導(dǎo)體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針法具有設(shè)備簡單、操作方便、測量精度高以及對樣品形狀無嚴(yán)格要求的特點(diǎn)。因此，目前檢測半導(dǎo)體材料電阻率，尤其對于薄膜樣品來說，四探針是常用的方法。

英鉑科學(xué)儀器的四探針法測量半導(dǎo)體電阻率的測試方案，采用美國吉時利公司的高精度源表(SMU)，可以在輸出電流時測試電壓，也可以在輸出電壓時測試電流。輸出電流范圍從皮安級到安培級可控，測量電壓分辨率高達(dá)微伏級。支持四線開爾文模式，適用于四探針測試，可以簡化測試連接，得到準(zhǔn)確的測試結(jié)果。

上位機(jī)軟件CycleStar指導(dǎo)電阻率測試步驟，測試方法清晰明確，即使不熟練的工程師也能迅速掌握測試方法。

內(nèi)置電阻率計算公式，測試結(jié)束后直接從電腦端讀取計算結(jié)果，方便靈活的做后續(xù)處理分析系統(tǒng)主要由源測量單元、探針臺和上位機(jī)軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或者后面板三同軸接口連接到源表上。

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