接上篇：MPI 半自動(dòng)晶圓級(jí)探針臺(tái)系統(tǒng)TS2000-SE Probe System(一)

自動(dòng)化晶圓裝載系統(tǒng)

該功能提供了非常方便的晶圓裝載，并且易于針對(duì)自動(dòng)程序進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓。

安全管理(STM)系統(tǒng)

獨(dú)特的STM系統(tǒng)可防止在測(cè)試過(guò)程中打開(kāi)正門(mén)，以保證測(cè)試過(guò)程的安全，任何情況下都無(wú)法打開(kāi)任何系統(tǒng)門(mén)。獨(dú)特的智能露點(diǎn)控制程序可避免冷測(cè)試期間的積聚，系統(tǒng)自動(dòng)監(jiān)視CDA或氮?dú)獾牧髁俊Ｈ绻髁恐袛嗷蛄髁坎蛔?，則STM™會(huì)自動(dòng)將卡盤(pán)轉(zhuǎn)換為安全模式，迅速將卡盤(pán)加熱至露點(diǎn)以上。MPI STM™的功能是通過(guò)保持安全的測(cè)試環(huán)境，使TS2000-SE的測(cè)量更加安全，可靠和方便。

高效率的裝卸

自動(dòng)化的單晶圓裝載機(jī)和安全測(cè)試管理提供了獨(dú)特的功能，可以在卡盤(pán)任意溫度下更換晶圓，不再需要冷卻或加熱到環(huán)境溫度。這樣可以節(jié)省大量的等待時(shí)間，并顯著提高M(jìn)PI測(cè)試系統(tǒng)的整體效率，可支持100mm-200mm不同尺寸晶圓。

側(cè)視影像系統(tǒng)(VCE™)

借助MPI8寸探針臺(tái)獨(dú)特的自動(dòng)側(cè)視– VCE™影像系統(tǒng)可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸，使用DC或RF等探針卡非常安全。

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