極佳重復(fù)性與線性度

• 采用直動(dòng)式檢測(cè)方式

• 可避免圓弧補(bǔ)正誤差

• 可避免Bearing間隙誤差

• 臺(tái)階測(cè)定重復(fù)性：1σ 0.2nm以內(nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm

• Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

高分辨率

• 縱軸最高分辨率0.1nm

• 橫軸最高分辨率0.1um

• X測(cè)定速度可調(diào)：5μm~2mm/s

低測(cè)定力

• 測(cè)定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設(shè)定

• 可測(cè)定軟質(zhì)材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

真直度保證-1

線性尺與時(shí)間取樣

形狀及粗度解析結(jié)果

粗度規(guī)范對(duì)應(yīng)：可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，測(cè)量參數(shù)多達(dá)60種

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