微細(xì)形狀測定機(jī)(臺階儀)Step Height Measuring System

ET150K31 組合

產(chǎn)品特性

· 設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震

· 獨(dú)特的直動(dòng)式傳感器設(shè)計(jì)

· Z方向重復(fù)性1σ 0.2nm以內(nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm

· Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

· 樣品臺的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

· 高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向最大測量長度100mm，Y方向最大移動(dòng)150mm

· 自帶三維測量功能

ET150K31的結(jié)構(gòu)

花崗巖低重心設(shè)計(jì)

極佳重復(fù)性與線性度

采用直動(dòng)式檢測方式

可避免圓弧補(bǔ)正誤差

可避免Bearing間隙誤差

臺階測定重復(fù)性：1σ 0.2nm以內(nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm

Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

直動(dòng)式檢出器構(gòu)造

直動(dòng)式檢出器測量邊沿效應(yīng)

重復(fù)測量數(shù)據(jù) (10 times)

Taylor Hobson 標(biāo)準(zhǔn)樣

直動(dòng)式檢出器測量邊沿效應(yīng)

線性度

Vertical linearity(垂直線性度) : ±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

線性度計(jì)算公式： 誤差范圍 / Z方向測量范圍

測量設(shè)備型號 : ET-150系列

測試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品

Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um

VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm

VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

VLSI SHS-9400QC

VLSI SHS-440QC

高分辨率

縱軸最高分辨率0.1nm

橫軸最高分辨率0.1um

X測定速度可調(diào)：5μm~2mm/s

可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺階等

超高垂直直線度

垂直直線度：任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度

可追溯性：通過ISO9000國際認(rèn)證，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產(chǎn)品出廠皆有出廠測試認(rèn)證報(bào)告

超高垂直直線度精度保證： 局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力

超高垂直直線度的優(yōu)勢

ET150K31絕佳的設(shè)計(jì)，達(dá)到出色的測量效果

設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震

出色的測量穩(wěn)定性和設(shè)備穩(wěn)定、耐用性

直動(dòng)式檢測器

出色的測量重復(fù)性&線性度，確保各樣品臺階測量的精度、準(zhǔn)確度

樣品臺超高的垂直直線度保證

進(jìn)一步提高臺階測量精度，確保樣品形狀不變形

樣品臺X方向光柵尺定位，最長測量距離100mm，最快測量速度5μm/s

樣品周期性結(jié)構(gòu)不失真，長距離有利于測定多種國際參數(shù)

實(shí)時(shí)監(jiān)控測量位置

超高直線度國際認(rèn)證數(shù)據(jù)

位移光柵尺與時(shí)間取樣

形狀及粗度解析

粗度規(guī)范對應(yīng)：可對應(yīng)各種國際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，測量參數(shù)多達(dá)60種;可測量臺階及傾斜度。

超大測定力范圍

測定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意設(shè)定可測定軟質(zhì)材料面，如:COLOR FILTER、SPACER、PI等

觸針保護(hù)蓋板及方便更換

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