DC & RF Probe Arms

MPI提供了完整的探針臂產(chǎn)品組合，如：

• 同軸

• 三軸

• 高壓版本

• 開爾文

• 射頻

所有這些都能在高達(dá)300°C的溫度下運行

簡便，快速且無需工具

所有標(biāo)準(zhǔn)MPI探針臂均采用適用寬溫度范圍(-60°C…300°C)的不銹鋼管設(shè)計開發(fā)，并由獨特的通用探針支架固定，可輕松，快速且免工具更換針桿：

高度和角度調(diào)整。

更換探針臂，適用于各種不同的設(shè)置。

通用探頭支架與所有MPI MicroPositioner兼容。

MPI MicroPositioners

MPI提供了各種各樣的無間隙微定位儀，以解決各種操作和測量條件。從小尺寸到用于射頻和毫米波應(yīng)用的微米驅(qū)動高分辨率定位器都包括在內(nèi)。

接觸性能

統(tǒng)一的Z方向，符合人體工程學(xué)的操作以及具有極強夾持力的磁性底座，可以進(jìn)行精細(xì)的探頭放置，從而實現(xiàn)高接觸質(zhì)量，產(chǎn)生無與倫比的測量結(jié)果。

MPI MicroPositioner的通用探針接口設(shè)計為與所有探針臂兼容，從而簡化了應(yīng)用程序的特定適應(yīng)性。設(shè)計品種允許操作員選擇適合其操作熟悉程度的MicroPositioner，從而立即熟練使用。

輕松升級

MPI自行開發(fā)的MicroPositioner的設(shè)計毫不含糊。全碳鋼結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)長時間穩(wěn)定的接觸和出色的定位精度。

Chuck System

對于不同的要求，MPI提供了多種：

· 同軸

· 三軸

· 射頻

· 毫米波

· 大功率夾頭

· 從環(huán)境溫度到-60°C至300°C

可用選項的示例包括帶有真空孔的專用頂表面，鍍金或純絕緣材料制成的表面。創(chuàng)新的思維和技術(shù)專長使MPI設(shè)計與眾不同，并且基于特定應(yīng)用程序的實際需求。

ERS集成技術(shù)(IT)

在不同溫度下進(jìn)行晶圓探測仍然是一個重大挑戰(zhàn)。MPI與ERS一起在所有MPI Engineering Probe System中提供熱卡盤的統(tǒng)一軟件和硬件集成。新的集成技術(shù)(IT)負(fù)責(zé)：

· 測量結(jié)果

· 減少維護

· 出色的熱特性

· 較快的過渡時間

· 更好的系統(tǒng)平坦度

· 在整個溫度范圍內(nèi)具有出色的熱分布

MPI和ERS AirCool®PRIME技術(shù)

MPI公司和ERS電子有限公司共同設(shè)計了新型300mm熱卡盤AirCool®PRIME技術(shù)系列，可將浸泡時間減少60%。

這些系統(tǒng)可以配置為具有-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的較低溫度起點，并具有200°C或300°C的較高終點，所有這些都是為了適應(yīng)不同的需求和預(yù)算。AirCool®PRIME 技術(shù)可以在沒有冷卻器的情況下在-10°C下進(jìn)行測試，或者使用非常小的冷卻器在-40°C下進(jìn)行測試，從而使系統(tǒng)極具成本效益，降低了總體測試成本。

減少轉(zhuǎn)換時間，改善電氣性能，在惰性氣體氣氛下進(jìn)行更輕松的測試以及現(xiàn)場可升級性是AirCool®PRIME 熱卡盤系統(tǒng)的附加價值。

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