TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探針系統(tǒng)專為新興的THz應(yīng)用而設(shè)計(jì)，例如高速5G通信，衛(wèi)星，非侵入性光譜，醫(yī)療保健設(shè)備以及短距離汽車?yán)走_(dá)等，其方法是在同一探針臺(tái)上增加有源阻抗調(diào)諧器集成。這兩個(gè)系統(tǒng)可結(jié)合毫米波，太赫茲(THz)和自動(dòng)阻抗調(diào)諧器應(yīng)用的要求，以較佳的測(cè)量方向性提供準(zhǔn)確的測(cè)試。

可高達(dá)1.5THz的帶寬、差分或?qū)拵U(kuò)頻器和/或自動(dòng)阻抗調(diào)諧器的無(wú)縫集成;

擴(kuò)展器/調(diào)諧器集成的新穎設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)較佳的測(cè)量動(dòng)態(tài);

出色的機(jī)械穩(wěn)定性和可重復(fù)性，結(jié)合方便和安全的操作。

卡盤(pán)移動(dòng)系統(tǒng)

TS150-THZ具有10mm的精確卡盤(pán)Z調(diào)整，旨在靈活地集成不同的擴(kuò)頻器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。 在同一探頭系統(tǒng)上使用多個(gè)彎曲解決方案進(jìn)行設(shè)置時(shí)極為有利，可以輕松快速地進(jìn)行設(shè)置。

MicroPositioners的多種配置

專用且極堅(jiān)固的探針壓板設(shè)計(jì)可容納兩個(gè)東西方向固定的MP80大面積MicroPositioner。 通過(guò)將兩個(gè)南北“電橋”作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可以輕松進(jìn)行四端口RF測(cè)量或DC偏置。

探針座系統(tǒng)

獨(dú)特的MP80-DX具有低至1µm精確的清晰度，搭配三豐數(shù)顯千分尺。

成像系統(tǒng)

可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學(xué)變焦高達(dá)12倍，工作距離超過(guò)45毫米。由于集成測(cè)試頭/調(diào)諧器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應(yīng)用。

TS150-THZ

MPI TS150-THZ是150 mm高頻專用探針臺(tái)，旨在對(duì)基板和150 mm晶圓進(jìn)行精確分析。TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(mmW)應(yīng)用，例如高達(dá)1.5THz的寬帶，帶狀波導(dǎo)，次THz，負(fù)載牽引和RF噪聲。它提供了無(wú)與倫比的功能：

• 無(wú)縫集成任何高達(dá)1.5 THz的寬帶，差分或?qū)拵U(kuò)頻器

• 出色的機(jī)械穩(wěn)定性和可重復(fù)性，結(jié)合方便和安全的操作

• 最小化測(cè)量路徑以獲得較佳的測(cè)量方向性

氣浮式移到系統(tǒng)

MPI獨(dú)特的氣墊載物臺(tái)設(shè)計(jì)，具有簡(jiǎn)單的單手定標(biāo)器控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了無(wú)與倫比的操作便利性，同時(shí)搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機(jī)芯，不影響精確定位能力。

卡盤(pán)Z調(diào)整

TS150-THZ具有10mm的精細(xì)卡盤(pán)Z調(diào)整，旨在靈活地集成不同的擴(kuò)頻器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。對(duì)于在同一探頭系統(tǒng)上使用多個(gè)彎曲解決方案的設(shè)置非常有利，可以輕松快速地進(jìn)行設(shè)置。

微型定位器

專用的極剛性探針臺(tái)板設(shè)計(jì)可容納兩個(gè)東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器。通過(guò)將兩個(gè)南北“電橋”作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可以輕松進(jìn)行四端口RF測(cè)量或DC偏置。

MP80-DX

市場(chǎng)上另一個(gè)MPI開(kāi)拓性解決方案——獨(dú)特的MP80-DX，具有低至1µm的簡(jiǎn)單、精確的精確度，是精確且經(jīng)濟(jì)高效的多線TRL的理想選擇，即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)唯一的RF校準(zhǔn)方法。有關(guān)更多詳細(xì)信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) MPI QAlibria® 軟件。

查看更多MPI 手動(dòng)晶圓級(jí)太赫茲探針臺(tái)系統(tǒng)