LRT-001 微型探針冷熱臺(tái)·

結(jié)構(gòu)緊湊，適用于各種變溫測(cè)試

· -190℃~600℃(配液氮致冷模塊)

· 氣密腔室設(shè)計(jì)，可通保護(hù)氣氛

· 4探針，手動(dòng)定位(可擴(kuò)展為8個(gè))

· 上位機(jī)軟件控制

· 支持改動(dòng)或定制

溫控特性

1. 載樣臺(tái)材質(zhì)：銀質(zhì)

2. 溫度傳感器及數(shù)量：PT100，2個(gè)(配置載樣臺(tái)表面溫度監(jiān)測(cè))

3. 溫度控制：高精度PID控制(高低溫控制器GD-001)

4. 溫度范圍：-190℃~600℃(配液氮致冷模塊)

5. 控溫速度：0~10℃/min

6. 加熱時(shí)間：3min(從室溫到600℃)

7. 致冷時(shí)間：4min(從室溫到-190℃)

8. 溫度分辨率：0.1℃

9. 溫度穩(wěn)定性：±0.1℃(>-160℃)，±0.3℃(<-160℃)

光學(xué)特性

1. 光路：反射光路

*可升級(jí)為透射光路

2. 視窗：可拆卸更換，可用不同材質(zhì)玻璃實(shí)現(xiàn)不同波段光觀察

3. 最小物鏡工作距離：12.5mm

4. 透光孔：默認(rèn)無(wú)透光孔，可升級(jí)增設(shè)透光孔

5. 上蓋視窗：φ25mm

6. 視窗除霜：負(fù)溫下吹氣除霜管路

納米探針臺(tái)

納米探測(cè)面臨的挑戰(zhàn)

· 定位精度

· 安全(軟)著陸接觸

· 具有適當(dāng)尖端半徑的可靠探針頭

· 清潔環(huán)境：試驗(yàn)箱、樣品、探針頭

· 振動(dòng)敏感性低

· 噪聲抑制

· 漂移補(bǔ)償

· 電路編輯/延遲：在FIB角度操作

優(yōu)勢(shì)

電流成像

· 快速圖像采集(每幀約5秒)

· 不需要更容易控制的反饋

· 原位應(yīng)用，掃描電鏡可以用來(lái)確定投資回報(bào)率

· 與標(biāo)準(zhǔn)鎢探針頭配合使用

· picoamp分辨率，識(shí)別泄漏

· 污染物清除

恰當(dāng)?shù)母呒?jí)探測(cè)工具

· 適應(yīng)您對(duì)工作流程的快速理解

· 相關(guān)的光鏡和電子顯微鏡，EBIC/EBAC，電流成像-獲得整個(gè)圖像

· 快速發(fā)現(xiàn)故障(開(kāi)路、短路、連接泄漏、晶體管故障等)