探針臺(tái)如何工作?

探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針裝置到操縱器中，并運(yùn)用顯微鏡將探針尖端放置到待測(cè)物上的正確地位。一旦一切探針尖端都被設(shè)置在正確的地位，就可以看待測(cè)物停止測(cè)試。關(guān)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，運(yùn)用顯微鏡找到準(zhǔn)確的地位，壓板降低后下一個(gè)芯片可以停止測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)零碎運(yùn)用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來(lái)自動(dòng)化這個(gè)挪動(dòng)進(jìn)程，進(jìn)步了探針臺(tái)生產(chǎn)率。

探針臺(tái)的分類

探針臺(tái)可以依照運(yùn)用類型與功用來(lái)劃分，也可以依照操作方式來(lái)劃分成：真空探針臺(tái)、高低溫探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、手動(dòng)探針臺(tái)、光電探針臺(tái)、磁場(chǎng)探針臺(tái)。

手動(dòng)探針臺(tái)零碎望文生義是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)挪動(dòng)的。因而普通是在沒有很多待測(cè)器件需求測(cè)量或數(shù)據(jù)需求搜集的狀況下運(yùn)用手動(dòng)探針臺(tái)。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需求最少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境，并且不需求觸及額定培訓(xùn)和設(shè)置工夫的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈敏和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員運(yùn)用。

全自動(dòng)探針臺(tái)相比上述兩種添加了晶圓資料處置搬運(yùn)單元(MHU)和模式識(shí)別(自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))。擔(dān)任晶圓的保送與定位，使晶圓上的晶粒順次與探針接觸并逐一測(cè)試。可以24小時(shí)延續(xù)任務(wù)，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處置薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)錢也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。