超低溫磁場(chǎng)探針臺(tái)

半自動(dòng)真空低溫探針臺(tái)使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統(tǒng))、4.5K(dualCCR系統(tǒng))甚至低于4K(triple CCR系統(tǒng))的情況下能夠快速、經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行測(cè)試。低溫探針臺(tái)，設(shè)計(jì)用于支持在真空或氣體環(huán)境中對(duì)高達(dá)100mm、150mm或高達(dá)300mm的晶圓進(jìn)行自動(dòng)動(dòng)或半自動(dòng)測(cè)試。 系統(tǒng)精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統(tǒng)建立在一個(gè)振動(dòng)補(bǔ)償?shù)亩喙δ芷脚_(tái)上，能夠配置來(lái)各種測(cè)試應(yīng)用程序。

主要技術(shù)指標(biāo)

· 可用于高達(dá)100mm、150mm和200mm的晶圓測(cè)試

· 可配置4或6個(gè)探針臂。

· 還可以選擇探卡進(jìn)行測(cè)試

· 顯微鏡選擇包括7:1,12.5:1和16:1數(shù)碼變焦顯微鏡

· BNC, Triax, DC pin and RF 可選

· 用于探針微米級(jí)定位的高分辨率探針臂

· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可選

· RF選件包括可定制的RF探頭、RFchunk和屏蔽罩系統(tǒng)

· 具有良好的隔振性能

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)

MPS-C-350 可以完全將樣品放在可控三維磁場(chǎng)進(jìn)行測(cè)試的探針臺(tái)。 MicroXact獨(dú)特的設(shè)計(jì)使自旋電子器件、納米電子器件和許多其他材料和器件的晶圓級(jí)測(cè)試成為可能。

主要技術(shù)指標(biāo)

· 磁場(chǎng)可以以三種模式被任意控制:固定的值, 線性掃描, 或者用戶可以自定義。

· Wafer size：10mm，可升級(jí)到200mm

· 磁場(chǎng)：方向任意三維最大6kOe (0.6T)

· 定向精度+/- 1.0

· 在10mm直徑范圍內(nèi)的均勻性+/- 2%

· 穩(wěn)定性優(yōu)于0.1%

· 頻率范圍：DC to ~ 67GHz

· 分辨率：200mG

· CHUNK: Isolated, grounded or coaxial.

· 運(yùn)動(dòng)范圍:100mm x 100mm

· 集成MPS系列軟件，可在完全可控的三維磁場(chǎng)中快速、簡(jiǎn)便地捕獲圖像/視頻。

超低溫半自動(dòng)探針臺(tái)

其提供了一個(gè)經(jīng)濟(jì)的, 穩(wěn)定的, 可靠的超低溫和強(qiáng)磁場(chǎng)環(huán)境用于微納器件和芯片的測(cè)試. 得益于優(yōu)異的振動(dòng)隔離、熱力學(xué)，使這套系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛， 橫跨納米電子學(xué)自旋電子學(xué) , 分子電子學(xué)等。

系統(tǒng)使用閉循環(huán)制冷機(jī)和優(yōu)異的熱力學(xué)設(shè)計(jì)，特別設(shè)計(jì)的低振動(dòng)系統(tǒng)，達(dá)到行業(yè)的優(yōu)秀標(biāo)準(zhǔn)。超穩(wěn)定的位移臺(tái)為探針扎針測(cè)試提供一個(gè)可重復(fù)的測(cè)試結(jié)果?？蛇x擇性的探針和晶圓卡盤提供了超精密fA-級(jí)測(cè)試。 系統(tǒng)可進(jìn)行DC/RF/毫米波/光纖等多種光電定位性能測(cè)試。

主要技術(shù)指標(biāo)

· 高性價(jià)比, 穩(wěn)定,可靠,使用方便

· 溫度范圍 10K -400K

· 4.2K- 480K (可選)

· 閉循環(huán)制冷，無(wú)需消耗液氦

· 樣品座尺寸： 1英寸( 2英寸可選)

· DC - 325GHz 、HP、光纖臂可選

· 4個(gè)探針臂 (最多可選配6個(gè)探針臂)，高精度XYZ and 可選 θ 旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)

· 在探針上獨(dú)特的熱沉設(shè)計(jì)

· 樣品座和防輻射屏溫度可控

· 窗口(高純石英-其他材質(zhì)可選)

· 高頻減震系統(tǒng)

· 可提供垂直、水平以及多維磁場(chǎng)垂直方向可達(dá)到5T，水平方向達(dá)到1T以及1T的多維磁場(chǎng)配置

· 系統(tǒng)集成Labview軟件，可方便被客戶進(jìn)行儀表端集成

如果以上不能滿足您的測(cè)試需求，我們將會(huì)提供高水平的定制服務(wù)