本實(shí)用新型涉及電子元器件檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種全自動(dòng)探針臺(tái)及其工作臺(tái)。

背景技術(shù)：

全自動(dòng)探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及電子元器件的質(zhì)量測(cè)試。隨著科技的發(fā)展，電子元器件的體積越來(lái)越小，通常將多個(gè)電子元器件集成于一片狀的底板上以形成待測(cè)件，方便后續(xù)進(jìn)行檢測(cè)。

對(duì)待測(cè)件進(jìn)行檢測(cè)之前，通常需要將待測(cè)件放置于一工作臺(tái)上。但是，在向工作臺(tái)上放待測(cè)件的過(guò)程中，為了提升檢測(cè)效率，通常采取機(jī)械手輸送待測(cè)件，通常工作臺(tái)上用于承載待測(cè)件的表面和機(jī)械手上的待測(cè)件之間預(yù)留有一定的高度差以確保機(jī)械手能順利輸送待測(cè)件，在重力作用下待測(cè)件直接掉落到工作臺(tái)上可能會(huì)使待測(cè)件上的電子元器件被撞傷，故有待改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型實(shí)施例的目的是提供一種全自動(dòng)探針臺(tái)及其工作臺(tái)，解決了在重力作用下待測(cè)件直接掉落到工作臺(tái)上可能會(huì)使待測(cè)件上的電子元器件被撞傷的問(wèn)題。

本實(shí)用新型第一方面提供一種全自動(dòng)探針臺(tái)的工作臺(tái)，包括：臺(tái)座;與所述臺(tái)座豎向間隔布置的、用于承載待測(cè)件的載片臺(tái);設(shè)置于所述臺(tái)座上的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);以及，受所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)使以部分伸出所述載片臺(tái)用于承接所述待測(cè)件的、由若干頂針組成的頂針組件，所述載片臺(tái)設(shè)有供所述頂針伸出的穿孔，當(dāng)承接有所述待測(cè)件的所述頂針接觸所述待測(cè)件的一端收縮至所述穿孔內(nèi)時(shí)所述待測(cè)件放置于所述載片臺(tái)上。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，在將待測(cè)件放置于載片臺(tái)上的過(guò)程中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)先驅(qū)使部分頂針伸出穿孔以抵接于待測(cè)件的下方，在頂針朝穿孔內(nèi)收縮的過(guò)程中逐步將待測(cè)件引導(dǎo)至載片臺(tái)上，繼而待測(cè)件難以在重力作用下直接掉落到載片臺(tái)上，對(duì)待測(cè)件上的電子元器件具有較佳的保護(hù)作用。

結(jié)合第一方面，在第一方面的第一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：固定裝配于所述臺(tái)座上的氣缸;供所述頂針固定安裝的安裝件;以及，設(shè)于所述氣缸的伸縮桿和所述安裝件之間的、以使所述安裝件相對(duì)于所述氣缸水平方向錯(cuò)位布置的連接件。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，氣缸的伸縮桿動(dòng)作帶動(dòng)連接件升降，進(jìn)而帶動(dòng)安裝件升降以使頂針伸出及回縮與穿孔，同時(shí)連接件使得安裝件相對(duì)于氣缸水平方向錯(cuò)位布置，從而在安裝件的正下方留出了更大的空間以用于安裝其他零部件，具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定及節(jié)省空間的效果。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在第一方面的第二種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述連接件包括：一端設(shè)置于所述氣缸的伸縮桿上的、相對(duì)于所述臺(tái)座水平布置的板件;以及，設(shè)置于所述安裝件和所述板件另一端之間的、相對(duì)于所述臺(tái)座豎向布置的桿件。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，桿件和板件組合安裝，實(shí)現(xiàn)了氣缸的活塞桿和安裝件之間的可靠、穩(wěn)定連接。

結(jié)合第一方面的第二種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在第一方面的第三種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述工作臺(tái)還包括：設(shè)于所述板件上的、相對(duì)于所述臺(tái)座水平布置的條形擋片，設(shè)于所述臺(tái)座上的安裝架，以及，設(shè)于所述安裝架上的、與所述條形擋片配合且豎向間隔布置的、當(dāng)所述板件升降至極限位置時(shí)以向一控制中心反饋信息的第一傳感器和第二傳感器。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，在氣缸驅(qū)動(dòng)頂針升降的過(guò)程中，頂針位于最高點(diǎn)時(shí)意味著頂針已經(jīng)接觸待測(cè)件，頂針位于最低點(diǎn)時(shí)意味著待測(cè)件已經(jīng)放置于載片臺(tái)上，板件也會(huì)相應(yīng)升降，當(dāng)板件帶動(dòng)條形擋片升降至極限位置時(shí)，第一傳感器或第二傳感器向一控制中心反饋上述信息，進(jìn)而有利于控制中心控制其他部件動(dòng)作以配合對(duì)待測(cè)件進(jìn)行檢測(cè)。

結(jié)合第一方面，在第一方面的第四種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述工作臺(tái)還包括：帶輪結(jié)構(gòu)以及伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)設(shè)于所述臺(tái)座上且通過(guò)所述帶輪結(jié)構(gòu)驅(qū)使所述載片臺(tái)沿豎向軸線(xiàn)方向自由旋轉(zhuǎn)。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，伺服電機(jī)通過(guò)帶輪結(jié)構(gòu)驅(qū)使載片臺(tái)沿豎向軸線(xiàn)方向自由旋轉(zhuǎn)，從而可以帶動(dòng)載片臺(tái)上的待測(cè)件自由旋轉(zhuǎn)，方便對(duì)待測(cè)件進(jìn)行檢測(cè)。

結(jié)合第一方面的第四種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在第一方面的第五種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述工作臺(tái)還包括：設(shè)于所述載片臺(tái)上的、相對(duì)于所述載片臺(tái)豎向布置的弧形擋片，以及，設(shè)于所述臺(tái)座上的、與所述弧形擋片配合且豎向布置的、當(dāng)所述載片臺(tái)旋轉(zhuǎn)至極限位置時(shí)以控制所述伺服電機(jī)關(guān)閉的第三傳感器。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，在伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)載片臺(tái)旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，載片臺(tái)旋轉(zhuǎn)至極限位置時(shí)，弧形擋片剛好處于旋進(jìn)或者旋出第三傳感器的狀態(tài)，從而第三傳感器可以通過(guò)判斷其是否被弧形擋片隔擋來(lái)實(shí)現(xiàn)監(jiān)測(cè)載片臺(tái)是否旋至極限位置，有效防止載片臺(tái)旋轉(zhuǎn)過(guò)度，有利于待測(cè)件被檢測(cè)。

結(jié)合第一方面，在第一方面的第六種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述載片臺(tái)的用于承接所述待測(cè)件的表面設(shè)有若干負(fù)壓孔，所述載片臺(tái)的內(nèi)部設(shè)有若干與所述負(fù)壓孔及一負(fù)壓系統(tǒng)連通的通道以當(dāng)所述負(fù)壓系統(tǒng)開(kāi)啟時(shí)將所述待測(cè)件吸附于所述載片臺(tái)的所述表面上。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，負(fù)壓系統(tǒng)開(kāi)啟會(huì)通過(guò)通道及負(fù)壓孔實(shí)現(xiàn)將待測(cè)件吸附固定于載片臺(tái)上，進(jìn)而待測(cè)件更加穩(wěn)定，進(jìn)一步有利于待測(cè)件被檢測(cè)。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在第一方面的第七種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述載片臺(tái)呈圓柱形狀，所述頂針的數(shù)量為三根且與所述載片臺(tái)同軸線(xiàn)均勻布置。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，三根頂針對(duì)待測(cè)件具有良好的承托作用，進(jìn)而待測(cè)件在下降過(guò)程中更加穩(wěn)定，同時(shí)三根均勻布置，有效確保重心不偏移，進(jìn)一步確保待測(cè)件的穩(wěn)定性。

結(jié)合第一方面的第七種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在第一方面的第八種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述頂針包括：與所述安裝件固定裝配的安裝部分，以及，與所述安裝部分可拆卸式裝配以接觸所述待測(cè)件的軟質(zhì)橡膠部分。

實(shí)現(xiàn)上述方案的工作臺(tái)，軟質(zhì)橡膠部分具有質(zhì)軟的優(yōu)點(diǎn)，從而軟質(zhì)橡膠部分接觸待測(cè)件時(shí)，難以破壞待測(cè)件上的電子元器件。

本實(shí)用新型第二方面提供一種全自動(dòng)探針臺(tái)，包括：如上述的工作臺(tái)，與所述工作臺(tái)的所述臺(tái)座橫向滑動(dòng)式裝配的第一底座，驅(qū)使所述工作臺(tái)相對(duì)于所述第一底座橫向滑動(dòng)的第一動(dòng)力件，與所述第一底座縱向滑動(dòng)式裝配的第二底座，以及，驅(qū)使所述工作臺(tái)、所述第一動(dòng)力件及所述第一底座相對(duì)于所述第二底座縱向滑動(dòng)的第二動(dòng)力件。

實(shí)現(xiàn)上述方案的全自動(dòng)探針臺(tái)，第一動(dòng)力件動(dòng)作以驅(qū)使工作臺(tái)相對(duì)于第一底座橫向滑動(dòng)，第二動(dòng)力件動(dòng)作以驅(qū)使工作臺(tái)及第一底座相對(duì)于第二底座橫向滑動(dòng)，從而可以帶動(dòng)載片臺(tái)上的待測(cè)件相對(duì)于第二底座橫向和/或縱向移動(dòng)，方便對(duì)待測(cè)件進(jìn)行檢測(cè)。

綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例具有以下有益效果：

其一，通過(guò)頂針的承托作用，待測(cè)件難以直接掉落至載片臺(tái)上，對(duì)待測(cè)件具有較佳的保護(hù)作用;

其二，結(jié)構(gòu)緊湊、穩(wěn)定，占用空間小，安裝、維護(hù)方便。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、釘針、條形擋片、安裝架、第一傳感器及第二傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1、第一底座;2、第二底座;3、第一動(dòng)力件;31、第一絲桿;32、第一電機(jī);4、第二動(dòng)力件;41、第二絲桿;42、第二滑套;5、工作臺(tái);51、臺(tái)座;52、載片臺(tái);521、穿孔;522、負(fù)壓孔;53、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);531、氣缸;532、安裝件;533、連接件;5331、板件;5332、桿件;54、頂針;541、安裝部分;542、軟質(zhì)橡膠部分;55、條形擋片;56、安裝架;57、第一傳感器;58、第二傳感器;59、帶輪結(jié)構(gòu);510、伺服電機(jī);511、弧形擋片;512、第三傳感器;6、第二導(dǎo)軌;7、第二滑塊。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

實(shí)施例一：一種全自動(dòng)探針臺(tái)的工作臺(tái)，如圖1所示，包括：臺(tái)座51、載片臺(tái)52、帶輪結(jié)構(gòu)59、伺服電機(jī)510、弧形擋片511及第三傳感器512。

載片臺(tái)52用于放置待測(cè)件且呈圓柱形狀，伺服電機(jī)510固定安裝于臺(tái)座51上，且通過(guò)帶輪結(jié)構(gòu)59驅(qū)使載片臺(tái)52沿豎向軸線(xiàn)方向自由旋轉(zhuǎn)，從而可以帶動(dòng)載片臺(tái)52上的待測(cè)件自由旋轉(zhuǎn)，方便對(duì)待測(cè)件進(jìn)行檢測(cè)，在其他實(shí)施例中帶輪結(jié)構(gòu)59還可以替換成齒輪傳動(dòng)或者鏈輪傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。

弧形擋片511固定裝配于載片臺(tái)52上且對(duì)于載片臺(tái)52豎向布置的，第三傳感器512固定安裝于臺(tái)座51上且與弧形擋片511配合且豎向布置，當(dāng)載片臺(tái)52旋轉(zhuǎn)至極限位置時(shí)以控制伺服電機(jī)510關(guān)閉。在伺服電機(jī)510驅(qū)動(dòng)載片臺(tái)52旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，載片臺(tái)52旋轉(zhuǎn)至極限位置時(shí)，弧形擋片511剛好處于旋進(jìn)或者旋出第三傳感器512的狀態(tài)，從而第三傳感器512可以通過(guò)判斷其是否被弧形擋片511隔擋來(lái)實(shí)現(xiàn)監(jiān)測(cè)載片臺(tái)52是否旋至極限位置，有效防止載片臺(tái)52旋轉(zhuǎn)過(guò)度，有利于待測(cè)件被檢測(cè)。

載片臺(tái)52的用于承接待測(cè)件的表面開(kāi)有多個(gè)負(fù)壓孔522，負(fù)壓孔522呈圓弧形狀，載片臺(tái)52的內(nèi)部開(kāi)有多個(gè)與負(fù)壓孔522及一負(fù)壓系統(tǒng)連通的通道，以當(dāng)負(fù)壓系統(tǒng)開(kāi)啟時(shí)將待測(cè)件吸附于載片臺(tái)52的表面上，進(jìn)而待測(cè)件更加穩(wěn)定，進(jìn)一步有利于待測(cè)件被檢測(cè)。

載片臺(tái)52上開(kāi)有三個(gè)豎向布置的穿孔521，三個(gè)穿孔521位于一圓上且均勻布置，上述圓和載片臺(tái)52呈圓心布置。

結(jié)合圖1和圖2所示，工作臺(tái)還包括：固定裝配于臺(tái)座51上的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)53，以及，受驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)53驅(qū)使以部分伸出穿孔521用于承接待測(cè)件的、由三根頂針54組成的頂針組件當(dāng)承接有待測(cè)件的頂針54接觸待測(cè)件的一端收縮至穿孔521內(nèi)時(shí)待測(cè)件放置于載片臺(tái)52上。

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)53包括：固定裝配于臺(tái)座51上的氣缸531;供頂針54固定安裝的安裝件532;以及，設(shè)于氣缸531的伸縮桿和安裝件532之間的、以使安裝件532相對(duì)于氣缸531水平方向錯(cuò)位布置的連接件533。在其他實(shí)施例中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)53可以為直接布置于載片臺(tái)52下方的氣缸531。氣缸531的伸縮桿動(dòng)作帶動(dòng)連接件533升降，進(jìn)而帶動(dòng)安裝件532升降以使頂針54伸出及回縮與穿孔521，同時(shí)連接件533使得安裝件532相對(duì)于氣缸531水平方向錯(cuò)位布置，從而在安裝件532的正下方留出了更大的空間以用于安裝其他零部件，具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定及節(jié)省空間的效果。

連接件533包括：一端設(shè)置于氣缸531的伸縮桿上的、相對(duì)于臺(tái)座51水平布置的板件5331;以及，設(shè)置于安裝件532和板件5331另一端之間的、相對(duì)于臺(tái)座51豎向布置的桿件5332。桿件5332和板件5331組合安裝，實(shí)現(xiàn)了氣缸531的活塞桿和安裝件532之間的可靠、穩(wěn)定連接。

工作臺(tái)還包括：設(shè)于板件5331上的、相對(duì)于臺(tái)座51水平布置的條形擋片55，設(shè)于臺(tái)座51上的安裝架56，以及，設(shè)于安裝架56上的、與條形擋片55配合且豎向間隔布置的、當(dāng)板件5331升降至極限位置時(shí)以向一控制中心反饋信息的第一傳感器57和第二傳感器58。在氣缸531驅(qū)動(dòng)頂針54升降的過(guò)程中，頂針54位于最高點(diǎn)時(shí)意味著頂針54已經(jīng)接觸待測(cè)件，頂針54位于最低點(diǎn)時(shí)意味著待測(cè)件已經(jīng)放置于載片臺(tái)52上，板件5331也會(huì)相應(yīng)升降，當(dāng)板件5331帶動(dòng)條形擋片55升降至極限位置時(shí)，第一傳感器57或第二傳感器58向一控制中心反饋上述信息，進(jìn)而有利于控制中心控制其他部件動(dòng)作以配合對(duì)待測(cè)件進(jìn)行檢測(cè)。

頂針54的數(shù)量為三根且與載片臺(tái)52同軸線(xiàn)均勻布置，三根頂針54對(duì)待測(cè)件具有良好的承托作用，進(jìn)而待測(cè)件在下降過(guò)程中更加穩(wěn)定，同時(shí)三根均勻布置，有效確保重心不偏移，進(jìn)一步確保待測(cè)件的穩(wěn)定性。

頂針54包括：與安裝件532固定裝配的安裝部分541，以及，與安裝部分541可拆卸式裝配以接觸待測(cè)件的軟質(zhì)橡膠部分542，軟質(zhì)橡膠部分542具有質(zhì)軟的優(yōu)點(diǎn)，從而軟質(zhì)橡膠部分542接觸待測(cè)件時(shí)，難以破壞待測(cè)件上的電子元器件。

工作過(guò)程及原理：在將待測(cè)件放置于載片臺(tái)52上的過(guò)程中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)53先驅(qū)使部分頂針54伸出穿孔521以抵接于待測(cè)件的下方，在頂針54朝穿孔521內(nèi)收縮的過(guò)程中逐步將待測(cè)件引導(dǎo)至載片臺(tái)52上，繼而待測(cè)件難以在重力作用下直接掉落到載片臺(tái)52上，對(duì)待測(cè)件上的電子元器件具有較佳的保護(hù)作用。

實(shí)施例二：一種全自動(dòng)探針臺(tái)，結(jié)合圖1和圖3所示，包括：如實(shí)施例一中描述的工作臺(tái)5，與工作臺(tái)5的臺(tái)座51橫向滑動(dòng)式裝配的第一底座1，驅(qū)使工作臺(tái)5相對(duì)于第一底座1橫向滑動(dòng)的第一動(dòng)力件3，與第一底座1縱向滑動(dòng)式裝配的第二底座2，以及，驅(qū)使工作臺(tái)5、第一動(dòng)力件3及第一底座1相對(duì)于第二底座2縱向滑動(dòng)的第二動(dòng)力件4。

第一底座1上安裝有兩條橫向平行布置的第一導(dǎo)軌，臺(tái)座51的底部固定安裝有與第一導(dǎo)軌滑動(dòng)式裝配的第一滑塊，第一動(dòng)力件3包括：設(shè)于第一底座1上且位于兩第一導(dǎo)軌之間的、沿橫向軸線(xiàn)自由旋轉(zhuǎn)的第一絲桿31，與第一絲桿31螺紋式裝配的、與臺(tái)座51固定裝配的第一滑套，以及，驅(qū)動(dòng)第一絲桿31轉(zhuǎn)動(dòng)的第一電機(jī)32，圖3中第一導(dǎo)軌、第一滑塊及第一滑套均由于視角遮擋未具體示出。

第二底座2上安裝有兩條縱向平行布置的第二導(dǎo)軌6，第一底座1的底部固定安裝有與第二導(dǎo)軌6滑動(dòng)式裝配的第二滑塊7，第二動(dòng)力件4包括：設(shè)于第二底座2上且位于兩第二導(dǎo)軌6之間的、沿縱向軸線(xiàn)自由旋轉(zhuǎn)的第二絲桿41，與第二絲桿41螺紋式裝配的、與第一底座1固定裝配的第二滑套42，以及，驅(qū)動(dòng)第二絲桿41轉(zhuǎn)動(dòng)的第二電機(jī)，圖3中第二電機(jī)由于視角遮擋未具體示出。

第一動(dòng)力件3動(dòng)作以驅(qū)使工作臺(tái)5相對(duì)于第一底座1橫向滑動(dòng)，第二動(dòng)力件4動(dòng)作以驅(qū)使工作臺(tái)5及第一底座1相對(duì)于第二底座2橫向滑動(dòng)，從而可以帶動(dòng)載片臺(tái)52上的待測(cè)件相對(duì)于第二底座2橫向和/或縱向移動(dòng)，方便對(duì)待測(cè)件進(jìn)行檢測(cè)。

以上所述的實(shí)施方式，并不構(gòu)成對(duì)該技術(shù)方案保護(hù)范圍的限定。任何在上述實(shí)施方式的精神和原則之內(nèi)所作的修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在該技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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