2023年 ESD必備主機(jī)：ATS 8000A

大家好，我是小鉑，本來寫這篇文章是想中規(guī)中矩的列舉各個(gè)參數(shù)，從數(shù)據(jù)功能的角度讓大家去了解本次的主角，來自HPPI旗下的全自動(dòng)(VF)TLP/HBM/HMM/CC-TLP解決方案。

但是作為一個(gè)多年的工程師，尤其是應(yīng)用工程師的角度來看，小編真的想換一種方式，從小編多年使用經(jīng)驗(yàn)上去訴說一下我的“愛恨情仇。”

說起這個(gè)，就不得不提起那些年我和我的客戶們的故事，還記得那是一個(gè)夜黑風(fēng)高的晚上，小編一手持探針，一手調(diào)顯微鏡，雙目圓睜，盯著針尖與Pad的相會(huì)，實(shí)驗(yàn)室中顯示器熒屏上閃爍的燈光，繼電器規(guī)律的啪嗒聲，伴隨著曲線的起伏，一切定格的時(shí)候，我們知道，這世上又一顆器件失效了。

看著身旁尚未測試的器件，此時(shí)腦海中響起的不是勝利的號(hào)角聲，而是弱小無助的小編一遍又一遍的喊著「我醉欲眠卿且去」，奈何卻又被客戶的「一杯一杯復(fù)一杯」給蓋了去。

我們知道，大多數(shù)的2 pin測試系統(tǒng)已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn)Wafer level的全自動(dòng)測試，但是對(duì)于Package level只能手動(dòng)一顆一顆測試，比如(VF)TLP，HBM，HMM，MM，或者這幾年流行起來的Wafer級(jí)別的CDM測試，即CC-TLP。

對(duì)于這類測試，有一個(gè)測試常識(shí)，想必大家都知道，即從測試結(jié)果的精確及穩(wěn)定性上來說，Kelvin測試法要優(yōu)于兩根探針測試的，說到這里就又不得不提起小編一個(gè)過去的痛了，我們公司曾經(jīng)為某FAB安裝了一套TLP測試系統(tǒng)，因?yàn)樵摽蛻魷y試量比較大，也不測VF-TLP，因此就希望提高效率，所有測試用兩針法來測，但是這就導(dǎo)致了一個(gè)問題，就是每次測試的結(jié)果可能都會(huì)有差異，比如因?yàn)槁溽樀牧Χ炔煌嵌炔煌伎赡芤餚ad接觸點(diǎn)幾豪歐到幾十豪歐的差距，雖然TLP系統(tǒng)可以比作是高壓大電流源，接觸電阻帶來的影響可能不會(huì)那么大，但是對(duì)于客戶來講，測試結(jié)果的微小差異也會(huì)被放大。

總結(jié)一下，通過以上我的經(jīng)歷不難發(fā)現(xiàn)有兩個(gè)痛點(diǎn)：

1. Package level無法實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測試

2. 兩探針測試的時(shí)候，測試結(jié)果會(huì)有差異

那么接下來就要介紹今天的主角了，ATS-8000A，以及它是怎樣解決以上兩個(gè)問題的。

1. ATS-8000A具備真空旋轉(zhuǎn)Chuck，以及封裝模具，可以將多個(gè)任意封裝器件放置在模具中，利用軟件圖形定義，結(jié)合硬件3軸自動(dòng)化針座及旋轉(zhuǎn)Chuck，即可實(shí)現(xiàn)Package器件的全自動(dòng)測試。

說到這里有的同學(xué)可能會(huì)問，那我是否可以測試Die，答案當(dāng)然是可以的！下面請(qǐng)看圖。

2. 針對(duì)兩針測試時(shí)的測試結(jié)果差異問題，根本在于落針力度及位置問題，那么ATS-8000A則是利用探針臂上的精密力傳感器，精度達(dá)milli-Newton，用此保證每次落針的力度一樣，既保證了兩針測試的精度，又保證了探針的壽命。

另外有的同學(xué)可能會(huì)問，是否可以使用雙針尖的探針，答案當(dāng)然也是可以的，其實(shí)使用過的同學(xué)知道最好的測試探針是fixed picoprobe，這類針可根據(jù)pad間距進(jìn)行定制，GND回路穩(wěn)定且短，一般在測VF-TLP這種小脈寬，更快的上升沿時(shí)更具優(yōu)勢，不過針尖間距比較受限，加上在扎針時(shí)相對(duì)較難，且一般只有大量測試同類產(chǎn)品時(shí)才用的多，所以平時(shí)小編接觸過的這類用戶其實(shí)也不算多，在我們的ATS-8000A系統(tǒng)中這些問題相對(duì)可以優(yōu)化，比如只需要扎一次針，后續(xù)就可以通過ATS-8000A系統(tǒng)自動(dòng)扎針，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化，相對(duì)的就更好用，因此想用這類探針的同學(xué)也不必?fù)?dān)心。

好了，給大家畫了這么大的餅，拿了幾張網(wǎng)圖，有些同學(xué)已經(jīng)開始犯困了，那么接下來就為大家展示一段視頻，讓大家感受一下ATS8000A的魅力。