高功率探針臺系統(tǒng)TS150-HP & TS200-HP

MPI大功率器件表征系統(tǒng)是專門為晶圓上大功率器件測試而設(shè)計(jì)的。MPI TS150-HP和TS200-HP探針系統(tǒng)提供了完整的150mm和200mm晶圓上解決方案，可在較寬的溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測量。

單機(jī)多應(yīng)用設(shè)計(jì)

• 適用於高功率器件量測和其他多中晶圓級測試應(yīng)用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性(WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)工效學(xué)與安全設(shè)計(jì)

• 方便單手操作的快速釋放拖移氣浮載物臺設(shè)計(jì)

• 堅(jiān)固且可乘載多達(dá) 10 支高電壓 HV 或 4 支大電流HC 微定位器的工作臺

• 電磁屏蔽箱和工作臺電弧屏蔽 ArcShieldTM設(shè)計(jì)，為高電壓量測提供安全防護(hù)

• 支持較寬我溫度范圍：20℃至300℃

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