TS2000-DP是MPI提供一套多功能且經(jīng)濟高效的8寸半自動高功率測試探針臺，可在20°C至300°C的溫度范圍內(nèi)進行晶圓載片上高功率應(yīng)用的測量，且測量能力高達3kV(三軸)/10kV(同軸)和600A(脈沖)。

探針卡和微型定位器

TS2000-DP可提供最高12倍的高壓(最高3kV三軸或10kV同軸)或4倍的多手指高電流(最高400A的微型定位器)。

其具有的大量單探頭，專用于防電弧高功率探針卡的的探針卡夾，使得該系統(tǒng)成為高功率設(shè)備特性測量的理想選擇。

防電弧技術(shù)

該系統(tǒng)配備了ArcShield™，可防止卡盤和探針壓板之間發(fā)生任何可能的電弧。

防電弧探針卡具有在DUT周圍施加高壓的能力，并且可以使用帕申定律來防止焊盤之間產(chǎn)生電弧。

特別設(shè)計的防電弧LiquidTray™只需將其放在高功率卡盤表面即可用于抑制電弧。晶圓可以安全地放置在托盤內(nèi)，以浸沒在液體中進行無電弧高壓測試。

此卡盤可在300°C最高可達10kV(同軸)。

儀器集成

TS2000-DP可以配置多種儀器連接套件，其中包括必要的高壓/大電流探頭和電纜附件，以便與測試儀器進行出色的連接，例如Keysight B15005(3kV或10kV)，包括集成的模塊選擇器或Keithley 2600-PCT-XB，以及集成的8020高功率接口面板。

軟件套件SENTIO®

MPI自動工程探針系統(tǒng)由獨特的、革命性的多點觸摸操作控制SENTIO®軟件套件——簡單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓時間。“滾動”，“縮放”，“移動”命令模仿了現(xiàn)代智能移動設(shè)備，使每個人都可以在短短幾分鐘內(nèi)成為專家。在活動應(yīng)用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。

對于RF應(yīng)用，無需切換到另一個軟件平臺——MPI RF校準軟件程序QAlibria®與SENTIO®完全集成，為了遵循單一操作概念方法而易于使用。

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