MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探針臺(tái)旨在對(duì)300mm晶圓及以下微小器件提供高級(jí)EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測(cè)量功能環(huán)境。 它以較佳高度與防震臺(tái)結(jié)合在一起，使日常操作非常方便。

適用于多種晶圓量測(cè)應(yīng)用

• ，如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級(jí)可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境

• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境

• 支援飛安級(jí)低漏電量量測(cè)

• 內(nèi)置防震系統(tǒng)

• 溫度量測(cè)范圍 -60 °C 至 300 °C

探針臺(tái)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個(gè)高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可提供超低噪聲、低電容測(cè)量提供出色的EMI和不透光的測(cè)試環(huán)境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系統(tǒng)提供多達(dá) 4個(gè)端口的RF或多達(dá)8個(gè)端口的DC / Kelvin等多種搭配測(cè)試組合。

MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于重新配置,在簡(jiǎn)化日常操作方面發(fā)揮了重要作用。

空氣軸承

MPI獨(dú)特的氣墊載物臺(tái)設(shè)計(jì)，具有簡(jiǎn)單的單手定標(biāo)器控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了無(wú)與倫比的操作便利性，同時(shí)又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機(jī)芯，不影響精確定位能力。

獨(dú)特的卡盤Z調(diào)整

TS300-SE除空氣軸承XY工作臺(tái)外還包括5mm的Z吸盤調(diào)整(μm分辨率)，可實(shí)現(xiàn)精確的接觸/超程控制或探針卡跌落尖端校正。

1毫米刻度指示器為操作員提供了簡(jiǎn)便的反饋，另外20毫米氣動(dòng)舉升機(jī)提供了便攜式的一鍵升降程序。

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