真空探針臺，是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導(dǎo)材料、鐵電材料等)提供真空和高低溫測試條件下進(jìn)行非破壞性的電學(xué)表征和測量平臺。

真空探針臺在不同測試環(huán)境、不同溫度條件下可對微結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件、微電子器件及材料進(jìn)行電學(xué)特性表征測試。

TS150-HP & TS200-HP

MPI大功率器件表征系統(tǒng)是專門為晶圓上大功率器件測試而設(shè)計的。MPI TS150-HP和TS200-HP探針系統(tǒng)提供了完整的150mm和200mm晶圓上解決方案，可在較寬的溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測量。

單機(jī)多應(yīng)用設(shè)計

• 適用於高功率器件量測和其他多中晶圓級測試應(yīng)用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性(WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)工效學(xué)與安全設(shè)計

• 方便單手操作的快速釋放拖移氣浮載物臺設(shè)計

• 堅固且可乘載多達(dá) 10 支高電壓 HV 或 4 支大電流HC 微定位器的工作臺

• 電磁屏蔽箱和工作臺電弧屏蔽 ArcShieldTM設(shè)計，為高電壓量測提供安全防護(hù)

• 支持較寬我溫度范圍：20℃至300℃

空氣軸承

MPI獨(dú)特的氣墊載物臺設(shè)計，具有MPI獨(dú)特簡單的單手快速移動控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了無與倫比的操作便利性，同時又具有額外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機(jī)芯，提供更精準(zhǔn)的定位能力。

卡盤系統(tǒng)

MPI提供高達(dá)10KV同軸、600A的卡盤選件，電磁屏蔽和工作臺電弧屏蔽ArcShieldS設(shè)計為提高電壓量測提供安全防護(hù)。

高電壓/大電流/超大功率探頭

MPI高功率探測解決方案包括專用的高壓、大電流和超大功率探頭。

MPI的高壓探頭能高壓測試期間進(jìn)行低泄漏電流測量，測試高達(dá)3kV的三軸或5 kV和10kV的同軸設(shè)置。

HCP使用MPI專有的多觸點(diǎn)尖端來降低接觸電阻，以進(jìn)行高達(dá)600A的超高電流測量。

UHP探頭兼具這兩種功能，并且無需為高壓和高電流應(yīng)用更換探頭。

屏蔽系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)的手動高功率探頭系統(tǒng)配置有暗箱或紅外激光光幕，可以提供用于安全和EMI屏蔽功能的互鎖，且能夠確保低噪聲、準(zhǔn)確和安全的測量。

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