探針臺怎么使用？方法是什么？

1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。

2.運(yùn)用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕挪動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)理明晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。

4.待測點(diǎn)地位確認(rèn)好后,再調(diào)理探針座的地位,將探針臺探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的地位旁邊,再運(yùn)用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,漸漸的將探針移至被測點(diǎn),此時舉措要小心且遲緩，以防舉措過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時，可先用Y軸旋鈕將探針行進(jìn)少許，再運(yùn)用Z軸旋鈕停止下針，最初則運(yùn)用X軸旋鈕左右滑動，察看能否有少許劃痕，證明能否曾經(jīng)接觸。

5.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以經(jīng)過銜接的測試設(shè)備開端測試。

查看更多探針臺資訊