較新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。

特性1：OTS-最近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn))

OTS通過對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其絕對(duì)位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來(lái)源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。

特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng))

為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。

特性3：裝載部件

令客戶滿意的測(cè)試環(huán)境，可以提供從前部開始的通常的8“，12”及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

特性4：TTG(一點(diǎn)即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。