手動探針臺規(guī)格描述 (以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸，六寸探針臺為例)：

探針臺載物臺平整度：5μm探針臺右側(cè)標配顯微鏡升降機構(gòu)，可抬高顯微鏡，便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標配升降器,可快速升降臺面8mm，并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪，可微調(diào)控制臺面升降范圍25mm(客戶有特殊需求，可以增大范圍)，精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，標配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動，移動范圍為150mm or 200mm，移動精度為1μm載物臺具備快速導入導出功能，便于上下料載物臺up/down功能(選項)可搭配金相高倍顯微鏡和體式顯微鏡，顯微鏡X-Y-Z移動范圍2.5英寸，移動精度1um可搭配4~8顆探針座，進行DC或者高頻測試可選附件射頻測試探頭及電纜

有源探頭

低電流/電容測試

高壓模塊

激光修復

高清數(shù)字相機

探針卡/封裝/PCB板夾具

Hot Chuck

防震桌

屏蔽箱

兼容測試儀器

各種型號示波器

各種品牌型號的源表安捷倫B1500、安捷倫4155、安捷倫4156

Keithley 4200各品牌的網(wǎng)絡分析儀

機臺總述重量：50kg(含顯微鏡)尺寸：720mm寬*680mm長*80mm高(含顯微鏡)動力需求：電源220V/15A;4~6KG壓縮空氣

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