一.探針臺操作步驟：

1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤上;

2. 打開顯微鏡光源燈(LED或光源機);

3.打開背光面板光源開關(guān);

4.調(diào)整Z axis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;

5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;

二.點針操作步驟：

1. 通過移動鏡頭組部分找到Sample 要下針的地方;

2. 調(diào)整針座位置，將三軸歸零;

3. 調(diào)整針座仰角機構(gòu)，使針尖位于顯微鏡射出光斑中央上方1-2mm處;

4. 利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野中央位置并通過調(diào)整焦距使針尖達(dá)到*清晰;

6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;

7.利用針座的X-Y-Z 軸微調(diào)下針;

8.量測完畢后，逆時針旋轉(zhuǎn)針座的仰角機構(gòu)的旋鈕快速將針往上抬起，針尖即可移開Sample;移動針座平臺或者顯微鏡相關(guān)移動機構(gòu)時,請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞

9. 移開針座，取出Sample.

10.關(guān)閉背光面板光源和光源燈等電源.

查看更多探針臺系統(tǒng)