MPI的200毫米/8寸全自動(dòng)探針臺系統(tǒng)系列是專門為解決射頻(RF)和大功率晶圓測試而開發(fā)的，該系統(tǒng)旨在實(shí)現(xiàn)24/7的生產(chǎn)可靠性，并與所有MPI系統(tǒng)附件兼容。

優(yōu)勢：

適用于多種量產(chǎn)型晶圓級射頻量測應(yīng)用

• 射頻量測 - 至高 67 GHz

• 可同時(shí)進(jìn)行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量測

• 標(biāo)準(zhǔn)配備有偏心軸晶圓對準(zhǔn)鏡頭

• 可支持配至薄50um薄晶圓選項(xiàng)

• 可支持溫度區(qū)間：20℃到300℃

特點(diǎn)與優(yōu)勢

薄晶圓處理

自動(dòng)化裝卸系統(tǒng)

自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)

超大功率探頭

完整的測試解決方案

TS2500可以配置MPI的高性能RF探針 ??/高功率附件，例如MicroPositioners，RF線纜，校準(zhǔn)片，TITAN™RF 探針，大功率儀器連接套件，Taiko晶圓支架或防電LiquidTray™，以確保安全和準(zhǔn)確射頻/大功率測量。

隨著VNA與DUT的集成更緊密，與Rohde&Schwarz合作新的先進(jìn)校準(zhǔn)技術(shù)，使TS2500-RF成為了解決RF生產(chǎn)測試復(fù)雜性的完整測量解決方案。

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