ERS AC3 提供全溫度范圍，具有空氣可靠性和無(wú)與倫比的冷水機(jī)組緊湊性。

· 僅空氣 = 無(wú)液體或佩爾蒂埃元素

·MTBF > 50，000 小時(shí)

·溫度范圍從 -65 至 +400 °C

·模塊化系統(tǒng)，可適應(yīng)各個(gè)測(cè)試要求

·fA 范圍內(nèi)的低噪聲功能

·節(jié)省空間的冷水機(jī)組尺寸

·無(wú)需單獨(dú)的凈化空氣源

·兼容所有主要生產(chǎn)探測(cè)和所有主要分析探測(cè)

·提供完整的硬件和軟件集成

·維修友好型 FRU(現(xiàn)場(chǎng)更換單元)組件

24 小時(shí)可靠運(yùn)行的僅空氣冷測(cè)試

AC3系統(tǒng)以溫度范圍廣、冷水機(jī)組緊湊、功耗低、空氣可靠性高而聞名于世，在世界各地著名的生產(chǎn)車間和研究實(shí)驗(yàn)室使用。

實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境的高性能

多年來(lái)，與實(shí)驗(yàn)室最終用戶和高質(zhì)量分析晶圓探測(cè)儀供應(yīng)商的密切合作，在低噪音測(cè)試中創(chuàng)造了較佳性能。由于 AC3 晶圓夾頭的高剛度，在高引腳數(shù)測(cè)試期間也滿足了晶圓分片地板的要求。

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