特點與優(yōu)勢

· 可用于高達100mm、150mm和200mm的晶圓測試

· 可配置4或6個探針臂。

· 還可以選擇探卡進行測試

· 顯微鏡選擇包括7:1,12.5:1和16:1數(shù)碼變焦顯微鏡

· BNC, Triax, DC pin and RF 可選

· 用于探針微米級定位的高分辨率探針臂

· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可選

· RF選件包括可定制的RF探頭、RFchunk和屏蔽罩系統(tǒng)

· 具有良好的隔振性能