低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導(dǎo)材料、鐵電材料等)提供真空和低溫測試條件下進(jìn)行非破壞性的電學(xué)表征和測量平臺。CPS系列低溫真空探針臺可以對材料或器件進(jìn)行電學(xué)特性測量、光電特性測量、參數(shù)測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導(dǎo)、電子學(xué)、物理學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域。

為了提高系統(tǒng)的實(shí)用性，系統(tǒng)還可以提供3.2K的溫度擴(kuò)展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵機(jī)組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學(xué)樣品架等選件。

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