產(chǎn)品介紹：

KOSAKA ET200A是KOSAKA新推出的經(jīng)濟型臺式兩用機型：6寸臺階儀（支持升級到8寸載物臺）和粗糙度輪廓儀?？筛鶕?jù)用戶需求任意組合，是一款帶有專用控制器的高精度、高性能的表面粗糙度測量儀器。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震，配有獨特的直動式傳感器設(shè)計。

2、Z方向重復(fù)性1σ 0.2nm以內(nèi),但實際可達0.1nm。

3、Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）。

4、樣品臺的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm。

5、高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向最大測量長度100mm。

6、配備了各種型號的探針，提供通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭。

7、彩色CCD 原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。

8、使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式，可更好的實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。

9、可精確地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

10、支持可升級三維測量功能。

產(chǎn)品應(yīng)用：

KOSAKA ET200A可為不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。