半自動(dòng)晶圓級(jí)探針臺(tái)系統(tǒng)TS3000-SE的特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

TS3000-SE是TS3000探針臺(tái)系統(tǒng)的升級(jí)開(kāi)發(fā)，該系統(tǒng)配備了MPI ShielDEnvironment™，可實(shí)現(xiàn)超低噪聲，滿足設(shè)備的需求表征，晶圓級(jí)可靠性以及RF和mmW等多種應(yīng)用。

優(yōu)勢(shì)：

適用于多種晶圓量測(cè)應(yīng)用

• 模塊量測(cè) - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性測(cè)試 - 精確的壓力測(cè)試

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境

• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量境，以得到最佳的 1/f 超低噪測(cè)試結(jié)果

• 支援 fA 級(jí)超低噪 IV 量測(cè)

• 可編程的顯微鏡滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化之簡(jiǎn)便操作

• 具配置彈性的溫度可量測(cè)范圍 -60 °C 至 300 °C

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個(gè)高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可為超低噪聲、低電容測(cè)量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測(cè)試環(huán)境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™允許多達(dá) 4個(gè)端口的RF或多達(dá)8個(gè)端口的DC / Kelvin或高功率等多種測(cè)試組合。

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