半自動晶圓級探針臺系統(tǒng)TS3000的特點與優(yōu)勢

MPI的TS3000是半自動300mm探針臺測試系統(tǒng)，搭配獨特的可開放式下做高低溫測試，專門為產(chǎn)品工程，故障分析，設(shè)計驗證，晶圓級可靠性以及RF和mmW應(yīng)用而設(shè)計，

并提供：

• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 最高溫度范圍-60°C至300°C

• 出色的的靈活性

• 具有特定設(shè)計的電纜接口的與功能測試儀的最小電纜距離，可實現(xiàn)更好的測量方向性

• 最小的卡盤到工作臺面高度可實現(xiàn)較佳mmW和內(nèi)部節(jié)點探測

• 通過在內(nèi)部集成熱系統(tǒng)的冷卻器，將系統(tǒng)占地面積降至較低

IceFreeEnvironment™

結(jié)合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60至300°C的寬溫度范圍內(nèi)對300mm的晶片進(jìn)行微型定位器和(或)探針卡測試，并具有在膠片框架上進(jìn)行探測的附加功能。

探針懸停控制

MPI探針懸?？刂芇HC™允許輕松手動控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計反饋精確控制，以實現(xiàn)探針到晶圓的精確定位。

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