MPI TS150-THZ是150 mm高頻專用探針臺，旨在對基板和150 mm晶圓進行精確分析。TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(mmW)應(yīng)用，例如高達1.5THz的寬帶，帶狀波導，次THz，負載牽引和RF噪聲。它提供了無與倫比的功能：

• 無縫集成任何高達1.5 THz的寬帶，差分或?qū)拵U頻器

• 可靠的的機械穩(wěn)定性和可重復性，結(jié)合方便和安全的操作

• 測量路徑較小以獲得最佳的測量方向性

卡盤移動系統(tǒng)

TS150-THZ具有10mm的精確卡盤Z調(diào)整，旨在靈活地集成不同的擴頻器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。 在同一探頭系統(tǒng)上使用多個彎曲解決方案進行設(shè)置時極為有利，可以輕松快速地進行設(shè)置。

MicroPositioners的多種配置

專用且極堅固的探針壓板設(shè)計可容納兩個東西方向固定的MP80大面積MicroPositioner。 通過將兩個南北“電橋”作為標準配置，可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。

探針座系統(tǒng)

獨特的MP80-DX具有低至1µm精確的清晰度，搭配三豐數(shù)顯千分尺。

成像系統(tǒng)

可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學變焦高達12倍，工作距離超過45毫米。由于集成測試頭/調(diào)諧器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應(yīng)用。

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