TS150-AIT和TS200-THZ探針系統(tǒng)專為新興的THz應(yīng)用而設(shè)計(jì)，例如高速5G通信，衛(wèi)星，非侵入性光譜，醫(yī)療保健設(shè)備以及短距離汽車?yán)走_(dá)等，其方法是在同一探針臺上增加有源阻抗調(diào)諧器集成。這兩個系統(tǒng)是150 mm和200 mm探針系統(tǒng)，可結(jié)合毫米波，太赫茲(THz)和自動阻抗調(diào)諧器應(yīng)用的要求，以較佳的測量方向性提供準(zhǔn)確的測試。

任意最高可達(dá)1.5THz的帶寬、差分或?qū)拵U(kuò)頻器和/或自動阻抗調(diào)諧器的無縫集成;

擴(kuò)展器/調(diào)諧器集成的新穎設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)較佳的測量動態(tài);

可靠的機(jī)械穩(wěn)定性和可重復(fù)性，結(jié)合方便和安全的操作。

氣浮式移到系統(tǒng)

MPI獨(dú)特的氣墊載物臺設(shè)計(jì)，具有簡單的單手定標(biāo)器控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了無與倫比的操作便利性，同時搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機(jī)芯，不影響精確定位能力。

卡盤Z調(diào)整

TS150-THZ具有10mm的精細(xì)卡盤Z調(diào)整，旨在靈活地集成不同的擴(kuò)頻器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。對于在同一探頭系統(tǒng)上使用多個彎曲解決方案的設(shè)置非常有利，可以輕松快速地進(jìn)行設(shè)置。

點(diǎn)擊查看更多手動晶圓級太赫茲探針臺系統(tǒng)