高低溫真空微波探針臺是一種用于電子與通訊技術(shù)范疇的工藝實驗儀器，于2016年10月16日啟用。

高低溫真空微波探針臺技術(shù)指標(biāo)

1、六個探針臂接口，可以裝置六個探針臂。

2、一個CF40 真空抽氣口，一個疾速破真空進(jìn)氣口。

3、載物Chuck 溫度范圍：4K-500K ;CF法蘭接口，零碎極限真空優(yōu)于5*10-6Pa。

4、漏率優(yōu)于：1.3*10-10Pa.M3/s;探針X-Y-Z三方向挪動，行程：25.4mm，定位精度：10μm。

5、雙屏蔽chuck高低溫時到達(dá)100FA 的測試精度。

高低溫真空微波探針臺主要功能

可以完成樣品在高溫真空環(huán)境的測試，完成樣品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K恣意溫度點的準(zhǔn)確電學(xué)測量，可完成直流和微波(40GHz)的測量。

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