接上文：探針臺(tái)選型的注意事項(xiàng)英鉑科學(xué)儀器詳解

探針臺(tái)選型的注意事項(xiàng)

※最大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件?是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片，最小的單顆芯片尺寸?

※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高?

※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路?

※最多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)?

※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試?

※光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少?

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)?

※探針點(diǎn)測(cè)時(shí)，對(duì)電流的要求能否達(dá)到100fa或者以下?低

電容要求能否要做到0.1pf?是否有射頻需求?

※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些?

※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體?

※對(duì)chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?

※是否需要防震桌?

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣?

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