真空低溫電學(xué)測(cè)試探針臺(tái)有以下十五技術(shù)指標(biāo)

1、溫度范圍：80 K-475 K;

2、制冷形式：采用液氮制冷;

3、循環(huán)時(shí)間：小于2.5小時(shí);

4、4個(gè)直流探針臂，用來(lái)做電學(xué)實(shí)驗(yàn)，可進(jìn)行直流到50 MHz的電學(xué)測(cè)量;

5、探針臂的可移動(dòng)距離X方向51 mm;

6、*在一個(gè)探針臂上安裝溫度計(jì)，可方便實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)探針溫度，準(zhǔn)確判斷系統(tǒng)是否達(dá)到溫度平衡;

7、*回溫方式：防輻射屏上安裝溫度計(jì)和加熱器，系統(tǒng)可進(jìn)行快速回溫;

8、采用四通道高性能控溫儀，可分別對(duì)防輻射屏、樣品臺(tái)、探針臂進(jìn)行控溫和測(cè)溫;

9、控溫穩(wěn)定性：優(yōu)于±100 mK;

10、*顯微鏡系統(tǒng)光學(xué)分辨率優(yōu)于4 µm，樣品照明采用同軸光和環(huán)形光各一套;

11、*直流探針具有Guard保護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適合于進(jìn)行微弱電信號(hào)測(cè)量，減少漏電流;

12、直流探針阻值為50歐姆，為射頻RF測(cè)量提供很好的匹配阻抗;

13、*探針臂分別在防輻射屏及樣品臺(tái)上熱沉，減少探針落針對(duì)樣品溫度的影響;

14、基礎(chǔ)溫度真空指標(biāo)：約5 × 10-5 Torr;

15、 系統(tǒng)配備50 L進(jìn)口液氮杜瓦.。

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