MPI的200毫米/8寸全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)系列是專(zhuān)門(mén)為解決射頻(RF)和大功率晶圓測(cè)試而開(kāi)發(fā)的，該系統(tǒng)旨在實(shí)現(xiàn)24/7的生產(chǎn)可靠性，并與所有MPI系統(tǒng)附件兼容。

優(yōu)勢(shì)：

適用于多種量產(chǎn)型晶圓級(jí)射頻量測(cè)應(yīng)用

• 射頻量測(cè) - 至高 67 GHz

• 可同時(shí)進(jìn)行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量測(cè)

• 標(biāo)準(zhǔn)配備有偏心軸晶圓對(duì)準(zhǔn)鏡頭

• 可支持配至薄50um薄晶圓選項(xiàng)

• 可支持溫度區(qū)間：20℃到300℃

全自動(dòng)晶圓級(jí)探針臺(tái)系統(tǒng)TS2500特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

薄晶圓處理

TS2500 RF卡盤(pán)獨(dú)特的設(shè)計(jì)可以安全地處理厚度最小50微米的晶圓，從而能夠測(cè)試具有挑戰(zhàn)性的III-Vs化合物薄片。射頻卡盤(pán)包括兩個(gè)完全由特殊陶瓷材料制成的輔助卡盤(pán)，用于精確的射頻校準(zhǔn)。輔助卡盤(pán)也可以用來(lái)固定探針清潔材料。

自動(dòng)化裝卸系統(tǒng)

自動(dòng)化包括雙末端執(zhí)行器和雙晶圓盒，適用于150或200mm晶圓，可提供高效率的晶圓交換并提高測(cè)試速度。TS2500的最高速度可以達(dá)到10 Die /s(取決于最終系統(tǒng)配置)，使其成為在高功率，分立RF器件以及集成電路(IC)上進(jìn)行生產(chǎn)電氣測(cè)試的理想選擇。

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