SiPH Probe System

MPI為其著名的TS2000-SE，TS3000，TS3000-SE，TS3500和TS3500-SE探針系統(tǒng)設(shè)計了專用的SiPH升級，包括：

• 高精度光纖對準(zhǔn)系統(tǒng)的各種選項，可用于超快速掃描程序

• 面向OO，OE，EO和EE設(shè)備配置的多種測量功能

• 集成的Z感應(yīng)功能可檢測光纖與晶圓的接觸點

• 使用兩個光纖臂時的防撞保護(hù)

• -40°C至200°C的寬溫度范圍

• 可選的暗箱，用于在密閉環(huán)境中進(jìn)行測試

• 廣泛的軟件包，支持輕松集成到操作員的測試執(zhí)行人員

TS3000-SE Probe System

TS3000-SE是TS3000探針臺系統(tǒng)的升級開發(fā)，該系統(tǒng)配備了MPI ShielDEnvironment™，可實現(xiàn)超低噪聲，滿足設(shè)備的需求表征，晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應(yīng)用。

優(yōu)勢：

適用于多種晶圓量測應(yīng)用

• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性測試 - 精確的壓力測試

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境

• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設(shè)計的精密量境，以得到最佳的 1/f 超低噪測試結(jié)果

• 支援 fA 級超低噪 IV 量測

• 可編程的顯微鏡滑臺實現(xiàn)自動化之簡便操作

• 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C

TS3000 Probe System

MPI的TS3000是半自動300mm探針臺測試系統(tǒng)，搭配獨特的可開放式下做高低溫測試，專門為產(chǎn)品工程，故障分析，設(shè)計驗證，晶圓級可靠性以及RF和mmW應(yīng)用而設(shè)計，

并提供：

• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 最高溫度范圍-60°C至300°C

• 出色的靈活性

• 具有特定設(shè)計的電纜接口的與功能測試儀的最小電纜距離，可實現(xiàn)更好的測量方向性

• 最小的卡盤到工作臺面高度可實現(xiàn)較佳mmW和內(nèi)部節(jié)點探測

• 通過在內(nèi)部集成熱系統(tǒng)的冷卻器，將系統(tǒng)占地面積降至較低

TS2000-SE Probe System

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是市場上具有創(chuàng)新功能的200mm自動化晶圓測試系統(tǒng)，其包含獨特的側(cè)面自動裝卸功能，

優(yōu)勢：

適用于多種晶圓量測應(yīng)用

• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 失效分析 - 探針卡 / 節(jié)間探測

• 可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

• 高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境

• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計的精密量測環(huán)境

• 支持飛安級低漏電值量測

• 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

TS2000 Probe Systems

MPI TS2000是全球范圍內(nèi)公認(rèn)的探針系統(tǒng)的自然演變，其專用設(shè)計可滿足高級半導(dǎo)體測試市場的需求。該系統(tǒng)與所有MPI系統(tǒng)附件完全兼容，主要設(shè)計用于解決故障分析，設(shè)計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及對MEMS、高功率、RF和mmW器件測試的特殊要求。

優(yōu)勢：

適用于多種量產(chǎn)型晶圓量測應(yīng)用

• 模塊量測 ：DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 射頻量測 ：至高 110 GHz

• 高功率量產(chǎn)測試 ： 至高 10 kV / 600 A

• 開放式溫區(qū)：25°C至 300 °C

• 內(nèi)置被動式防震系統(tǒng)

• 可乘載達(dá) 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具

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