全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計;

無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或?qū)拵U頻器;最大的機械穩(wěn)定性和可重復性，結(jié)合方便和安全的操作;

TS150&TS200&TS300應用于測試半導體晶圓級、器件類電學特性，具備可以快速拖動樣品臺，更換樣品功能，并且有著獨特Platen平臺設計，測試重復性提高95%。

MPI 全系列探針臺具備模塊化設計,可搭配不同變倍比顯微鏡，同時與德國ERS聯(lián)合開發(fā)設計具有氣冷溫控技術的Thermal Chuck同步使用。

優(yōu)點 :

• 適用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統(tǒng) (MEMS) 和高功率 (HP)

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