氣浮式樣品移動系統(tǒng)

MPI獨特的氣墊載物臺設(shè)計，具有簡單的單手冰球控制，為操作人員提供了無與倫比的便利性，可實現(xiàn)快速XY導(dǎo)航和快速晶圓裝載，同時又不影響精確的定位功能，并具有精確的25×25 mmXY-θ 千分尺運動。

高度調(diào)整比例

探針臺工作臺面具有25毫米的精細(xì)高度調(diào)節(jié)，以支持各種應(yīng)用。獨特的1mm精確刻度可提供有關(guān)當(dāng)前位置的直接反饋。

多種卡盤選項

手動系統(tǒng)可提供多種卡盤選項，以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用需求。 卡盤選件包括MPI的同軸、三軸、高功率chuck或各種ERS高低溫chuck，以支持高達(dá)300°C的溫度測量，熱觸摸控制器的無縫集成可快速便捷地進行操作。

緊湊而剛性的設(shè)計 Platen 平臺

緊湊而堅固的壓盤設(shè)計可容納多達(dá)十個DC或四個RF MicroPositioner，以滿足各種應(yīng)用需求。高度可重復(fù)的壓板提升機設(shè)計具有三個不連續(xù)的位置，用于接觸，分離和加載，并帶有安全鎖實用程序，可實現(xiàn)輕松的步進和重復(fù)功能。此外，四端口RF MicroPositioner的矩形調(diào)節(jié)是保證RF探針之間對準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)功能。

更多信息點擊查看詳情