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交付案例

英鉑助中國(guó)科學(xué)院化學(xué)所搭建8寸晶圓載片參數(shù)矩陣測(cè)試系統(tǒng)返回列表

裝機(jī)產(chǎn)品:TS2000-SE半自動(dòng)探針臺(tái) & 是德科技B1500A分析儀

MPI TS2000-SE半自動(dòng)探針臺(tái)

產(chǎn)品介紹:

MPI的TS2000-SE/8寸半自動(dòng)探針臺(tái)是具有創(chuàng)新功能的200mm自動(dòng)化晶圓測(cè)試系統(tǒng),其包含獨(dú)特的側(cè)面自動(dòng)裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環(huán)境。MPI的TS2000-SE/8寸半自動(dòng)探針臺(tái)發(fā)布新功能,側(cè)面帶有VCE,可完美解放您的雙手,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位,完成自動(dòng)扎針,使測(cè)試過程更加方便快捷。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個(gè)高性能的微屏蔽暗箱,可為超低噪聲,低電容測(cè)量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測(cè)試環(huán)境

2、自動(dòng)化晶圓裝載系統(tǒng)

該功能提供了非常方便的晶圓裝載,并且易于針對(duì)自動(dòng)程序進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn),可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓,針對(duì)高低溫環(huán)境下可提高測(cè)試效率

3、ERS獨(dú)特的 AC3冷卻技術(shù)

MPI旗下全系列探針臺(tái)系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術(shù)和自我管理系統(tǒng),可使用回收的冷卻空氣吹掃M(jìn)PI ShielDEnvironment,可大幅減少30%至50%的空氣消耗

4、側(cè)視影像系統(tǒng)(VCE)

借助MPI8寸探針臺(tái)獨(dú)特的自動(dòng)側(cè)視– VCE影像系統(tǒng)可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸,使用DC或RF等探針卡非常安全

產(chǎn)品應(yīng)用:

1、模塊量測(cè) - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探針卡 / 節(jié)間探測(cè)

4、可靠性測(cè)試 - 熱/ 冷 / 長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試

5、高功率測(cè)試 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境,專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境

7、支持飛安級(jí)低漏電值量測(cè)

8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

是德科技B1500A分析儀

產(chǎn)品介紹:

B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀將多種測(cè)量和分析功能整合到一臺(tái)儀器中,可精確快速地進(jìn)行器件表征。它能夠提供廣泛的器件表征功能以及出色測(cè)量可靠性和可重復(fù)性的多功能參數(shù)分析儀。可以執(zhí)行從基本的電流 - 電壓(IV)和電容 - 電壓(CV)表征到快速、精準(zhǔn)的脈沖 IV 測(cè)試的全方位測(cè)量。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

- 低電壓和小電流的精確表征

- 無需重新連接電纜即可在 CV 和IV測(cè)量之間進(jìn)行切換

- 保持出色的小電流測(cè)量分辨率(使用 SCUU 時(shí)最小為1fA,使用 ASU 時(shí)最小為 0.1 fA)為被測(cè)器件提供完整的 CV補(bǔ)償輸出

- 捕獲傳統(tǒng)測(cè)試儀器無法精確測(cè)量的超快速瞬態(tài)現(xiàn)象

- 縮短從學(xué)習(xí)儀器使用、進(jìn)行測(cè)量到熟練操作儀器所需的時(shí)間

- 交互式地開發(fā)測(cè)試,并即時(shí)查看器件特征

- 無需使用任何其他設(shè)備便可對(duì)電流和電壓脈沖進(jìn)行驗(yàn)證(MCSMU提供示波器視圖)

- 自動(dòng)分析測(cè)量數(shù)據(jù),無需使用外部 PC

- 自動(dòng)存儲(chǔ)測(cè)量數(shù)據(jù)和測(cè)試條件,日后快速調(diào)用此信息

產(chǎn)品應(yīng)用:

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