RKD的Elite Etch Cu是一臺(tái)可為銅線開封的化學(xué)開封機(jī)，通過集成了先進(jìn)的特點(diǎn)來實(shí)現(xiàn)更高的產(chǎn)能。這臺(tái)開封機(jī)可以通過將精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到樣品器件上，可開封直徑為0.8mil銅線的塑封料，即便是脆弱的器件也能夠被快速開封。

每一次微等分的酸被輸送到刻蝕腔內(nèi)，由于泵產(chǎn)生的足夠大的壓力將會(huì)創(chuàng)造出非常大的湍流，可以極大的提高封裝材料的去除效率。對(duì)酸溫度的精密控制，并結(jié)合更高的分配效率使得對(duì)于銅線器件的開封不會(huì)產(chǎn)生引線或金屬化損傷。特殊設(shè)計(jì)的酸熱交換器能夠在高達(dá)8ml每分鐘的流量內(nèi)精的確將酸溫度控制在10℃到250℃范圍內(nèi)。即使是在較低溫度時(shí)，高的酸脈沖率也能獲得合理的刻蝕時(shí)間。

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

Elite Etch Cu配置了一個(gè)酸控制器刻蝕頭，它是由優(yōu)質(zhì)碳化硅材料制造的，具有無與倫比的耐酸性?？涛g頭設(shè)計(jì)用于降低在開封工藝結(jié)束時(shí)殘留在刻蝕頭上殘留酸的煙化現(xiàn)象,對(duì)于操作員更加安全，并且對(duì)酸的清潔也更方便。器件壓制組件(壓桿芯頭)是氣動(dòng)激活的推桿。壓桿芯頭正常狀態(tài)時(shí)縮回，當(dāng)安全罩完全關(guān)閉時(shí)伸出。當(dāng)刻蝕罩蓋下以后，壓頭自動(dòng)從上到下直線移動(dòng)，沿垂直方向直接將固定樣品或治具安全地固定刻蝕頭上，可以完全消除被刻蝕器件和治具的移動(dòng)。

Elite Etch Cu 在瓶子容器和開封器之間的所有流體接口都采用雙重密封。瓶子容器組件和刻蝕機(jī)內(nèi)部都配置了流體傳感器，如果出現(xiàn)任何酸瓶或內(nèi)部裝置的酸泄漏，都會(huì)立即向操作員發(fā)出漏酸警 報(bào)。瓶子容器采用了通用的旋轉(zhuǎn)互聯(lián)，使得酸瓶更換非常簡單以盡量避免接觸殘酸。

Elite Etch Cu開封機(jī)采用自動(dòng)高低壓氣體轉(zhuǎn)換系統(tǒng)和安全蓋內(nèi)部安全氣壓補(bǔ)充，確保操作員安全，并且更加節(jié)省N2氣消耗。設(shè)備采用光 纖感應(yīng)傳感器檢測(cè)開封時(shí)刻蝕罩蓋上后的密合度。

廢酸收集采用了獨(dú)特的冷卻熱交換系統(tǒng)，可將廢酸冷卻至90℃及以下，用于將廢酸收集在一個(gè)廢酸瓶內(nèi)，而無需兩個(gè)廢酸瓶以及硝酸硫酸轉(zhuǎn)換閥。單獨(dú)的手持式鍵盤控制，可以在通風(fēng)廚外面 進(jìn)行控制避免酸對(duì)控制面板和電路的腐蝕。

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