產(chǎn)品介紹：

MPI Corporation公司&ERS electronic共同開發(fā)的產(chǎn)品推出的PRIME隸屬于AirCool®高低溫度卡盤AC3系列。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1. 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)長(zhǎng)較短,采用經(jīng)濟(jì)型壓縮空氣降溫及控溫；

2. 超低漏電版本：＜15fA/V；

3. 具備快速的周轉(zhuǎn)時(shí)間；

4. PRIME隔熱技術(shù)PTS；

5. 在無冷卻機(jī)的情況下，溫度可低至-10℃；

6. chuck最低溫度可至-60℃，最高可以達(dá)到300℃；

7. 表面模塊化設(shè)計(jì)具有高度的靈活性；

8. 可選于300mm（12寸）和200mm（8寸）晶圓  150mm（6寸）晶圓；

9. Chuck有多種類型可選擇：Coaxial、Triaxial、RF、mmW and High-power Chucks、antimagentic、Ultra low leakage version

產(chǎn)品應(yīng)用：

Chuck應(yīng)用

1、用于承載晶圓使用，兼容最大12寸、8寸、6寸及最小5mm*5mm的晶圓；

2、具備寬溫度范圍可選：

室溫-200度 or 300度；

-10度-200度 or 300度；

-40度-200度 or 300度；

-60度-200度 or 300度。

溫控系統(tǒng)應(yīng)用

1、用于控制溫度，集成式結(jié)構(gòu)，內(nèi)置制冷機(jī)，智能控制溫度，無需過多干預(yù)；

2、采用氣路與chuck相連，精準(zhǔn)控制變溫。