產(chǎn)品介紹：

Annealsys AS-Master是一款多用途的200mm RTP設(shè)備，溫度范圍在室溫至1450℃，大氣壓到10-6 Torr，可手動或自動基片裝載。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

·可處理到200mm基片的獨(dú)立設(shè)備

·帶有閉合環(huán)路空氣冷卻的多區(qū)紅外燈鹵素打火爐

·不銹鋼冷壁腔室技術(shù)

·快速數(shù)字PID溫度控制器

·熱電偶和高溫計(jì)控制

·常壓和真空工藝能力

·帶針閥的吹掃氣路

·最多可配帶MFC的工藝氣路8條

·配有以太網(wǎng)通訊的PC控制，用于快速數(shù)據(jù)記錄

·可選配分子泵和壓力控制

·手動或盒到盒裝載

產(chǎn)品應(yīng)用：

可應(yīng)用于注入退火、歐姆接觸退火(III-V and SiC)、碳化硅、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)、旋涂摻雜物擴(kuò)散、致密化和結(jié)晶、硒化等。