產(chǎn)品介紹：

YB600是150mm手動探針臺系統(tǒng)，可以提供準確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、單機多應用設計

•適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學材料量測應用，如射頻和 DC、IV/CV 測試晶圓級可靠性

2、具備工效學設計

•XY 軸微調(diào)設計/Y 軸快速導入導出/載物臺設計

•堅固且可乘載多達 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作臺

•兩段式工作臺快升把手設計,接觸(contact） - 分離（loading)，實現(xiàn)高可靠性、高效率性

•具備英鉑科學儀器獨有專利技術(shù)的氣浮式移動樣品臺，搭配微調(diào)千分尺

3、彈性選配與升級性

•另有多種晶圓載物臺可做升級，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統(tǒng)可搭載，以完全支援您的應用需求

4、高壓人機安全防護設計

•Platen 底部特征聚合物高壓防護設計

•Chuck 獨特安全隔離防護設計

•采用德國 PEEK 雙層高壓防護環(huán)套設計的針桿（標準 SHV Coaxial 接口）通用

keithley&keysight 高壓儀表

•紅外感測 interlock 安全互鎖機制

產(chǎn)品應用：

該系統(tǒng)主要應用于晶圓級高頻電學特性的測試，可升級最高頻可達110G測試，滿足于6寸及以下產(chǎn)品應用。具備多模塊應用升級，如高溫，防震屏蔽，光學等。