產(chǎn)品概要：

MPI TS150-HP/6英寸手動(dòng)探針臺(tái)，應(yīng)用于測試半導(dǎo)體晶圓級(jí)、器件類的超高壓大電流的電學(xué)特性，具備快速拖動(dòng)樣品臺(tái)，更換樣品的功能，并且有著獨(dú)特Platen平臺(tái)設(shè)計(jì)，測試重復(fù)性提高95%。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、氣浮式樣品移動(dòng)系統(tǒng)

MPI獨(dú)特的氣墊載物臺(tái)設(shè)計(jì)，具有簡單的單手冰球控制，為操作人員提供了很強(qiáng)的便利性，可實(shí)現(xiàn)快速XY導(dǎo)航和快速晶圓裝載，同時(shí)又不影響精確的定位功能。

2、高度調(diào)整比例

探針臺(tái)工作臺(tái)面具有25毫米的精細(xì)高度調(diào)節(jié)，支持各種應(yīng)用，獨(dú)特的1mm精確刻度可準(zhǔn)確指示當(dāng)前位置。

3、標(biāo)配三段式工作臺(tái)快升把手設(shè)計(jì)

接觸(contact） - 分離（sepration） - 架針（loading)，實(shí)現(xiàn)高可靠性、高效率性，搭配微調(diào)抬桿行程（50-100-150um），搭配電子互鎖結(jié)構(gòu)，提高測試安全性

4、多種卡盤選項(xiàng)

手動(dòng)系統(tǒng)可提供多種卡盤選項(xiàng)，以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用需求，可選配AUX陶瓷校準(zhǔn)載臺(tái)，有效提高校準(zhǔn)精度，獨(dú)立控制吸附

5、機(jī)型可滿足與DC-220G毫米波級(jí)測試需求兼容升級(jí)

6、多種光學(xué)系統(tǒng)選擇

提供多種光學(xué)器件，可以在用于普通DC / CV應(yīng)用的立體聲或用于射頻配置的單管MPI SZ10或MZ12之間進(jìn)行選擇。

7、防震屏蔽系統(tǒng)

防震可屏蔽外界震動(dòng)，暗箱為超低噪聲直流測量提供EMI屏蔽和不透光的測試環(huán)境。

產(chǎn)品應(yīng)用：

適用于多種晶圓量測應(yīng)用，如組件特性描述和建模，晶圓級(jí)可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 和高功率 (HP)。