TS2000-SE 半自動探針臺

產(chǎn)品介紹：

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創(chuàng)新功能的200mm自動化晶圓測試系統(tǒng)，其包含獨特的側面自動裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環(huán)境。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗箱，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境

2、自動化晶圓裝載系統(tǒng)

該功能提供了非常方便的晶圓裝載，并且易于針對自動程序進行預對準，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓，針對高低溫環(huán)境下可提高測試效率

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術

MPI旗下全系列探針臺系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統(tǒng)，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment，可大幅減少30%至50%的空氣消耗

4、側視影像系統(tǒng)(VCE)

借助MPI 8寸探針臺獨特的自動側視– VCE影像系統(tǒng)可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸，使用DC或RF等探針卡非常安全

產(chǎn)品應用：

• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 失效分析 - 探針卡 / 節(jié)間探測

• 可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

• 高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

• MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環(huán)境

• 支持飛安級低漏電值量測

• 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

英鉑-高低溫樣品臺

產(chǎn)品介紹：

高低溫載物臺系統(tǒng)提供晶圓級承載，具備可變溫環(huán)境，可滿足測試如射頻、高壓、直流等晶圓的承載作用，可與多種機型搭配。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 具備氣冷式降溫凹槽式設計，具備12英寸、8英寸或定制6英寸可選尺寸，具備最小吸附樣品尺寸4*4mm

• 表面材質可選，如鍍金或者鍍鎳，適用于不同測試應用，可選密孔

• 真空吸附可獨立控制范圍，

•  選配陶瓷射頻載物臺

•  可選配背電極，漏電＜1pA

•  高功率最大可滿足 10KV/200A 的選配

•  滿足-60℃-300℃最大溫區(qū)

產(chǎn)品應用：

可滿足測試如射頻、高壓、直流等晶圓的承載作用，可與多種機型搭配。