產(chǎn)品概要：

YB-E-150-DSP是150mm手動6寸雙面探針失效分析系統(tǒng)，可以提供準(zhǔn)確可靠的DC/CV, RF/高功率(3000V 30A)單雙面測量。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、單機(jī)多應(yīng)用設(shè)計(jì)

•適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學(xué)材料量測應(yīng)用，如射頻和DC、IV/CV測試晶圓級及器件的失效分析測試

2、工效學(xué)設(shè)計(jì)

•XY軸微調(diào)設(shè)計(jì)

•堅(jiān)固且可乘載正面多達(dá)10支DC和最多6支背面DC/RF微定位器的工作臺

•具備英鉑科學(xué)儀器獨(dú)有專利技術(shù)的氣浮式移動樣品臺，搭配微調(diào)千分尺

• 且提供背面影像光學(xué)系統(tǒng)，提供雙面扎針操作

• 針座平臺具備＞15mm的微調(diào)操作

3、彈性選配與升級性

•另有多種晶圓載物臺可做升級，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學(xué)顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統(tǒng)可搭載，以完全支援您的應(yīng)用需求，以完全支援您的應(yīng)用需求

4、高壓升級人機(jī)安全防護(hù)設(shè)計(jì)升級

•Platen 底部特征聚合物高壓防護(hù)設(shè)計(jì)

•Chuck 獨(dú)特安全隔離防護(hù)設(shè)計(jì)

•采用德國PEEK雙層高壓防護(hù)環(huán)套設(shè)計(jì)的針桿（標(biāo)準(zhǔn)SHV Coaxial接口）通用

•keithley&keysight高壓儀表

•可升級紅外感測interlock安全互鎖機(jī)

產(chǎn)品應(yīng)用：

該系統(tǒng)主要應(yīng)用于晶圓級或器件射頻S參數(shù)電學(xué)特性分析的測試，可升級最壓可達(dá)3KV測試，滿足于6寸及以下產(chǎn)品應(yīng)用。具備多模塊應(yīng)用升級，如防震屏蔽，光學(xué)等。