MSA-600 激光測振儀

產(chǎn)品介紹：

MSA-600-M/V型的測量帶寬高達(dá)25MHz，適用于MEMS、MEMS麥克風(fēng)和其它微系統(tǒng)的振動(dòng)測試。

全新研發(fā)的MSA-600-X/U型的測量帶寬更是高達(dá)2.5GHz，尤其適用于高頻MEMS諧振器、微聲器件如SAW、BAW等振動(dòng)測試。

MSA-600-S可用于結(jié)構(gòu)振動(dòng)測試和表面形貌測試，可測試高頻設(shè)備，如FBAR(薄膜體聲諧振器)，以及其它GHz諧振器和設(shè)備。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 專用于顯微結(jié)構(gòu)的一體化光學(xué)測量工作站

• 真正的實(shí)時(shí)測量（無需數(shù)據(jù)后處理）

• MSA-600-M/V 型測試頻率高達(dá)25 MHz

• MSA-600-X/U 型測試頻率高達(dá)2.5 GHz

• 新的 MSA-600-S 型測試頻率高達(dá)6 GHz

• 亞pm級(jí)的位移分辨率

• 快速測量，振型可視化

• 操作簡便、直觀

• 自動(dòng)化測試系統(tǒng)，易于集成至探針臺(tái)

• 用于FE模型驗(yàn)證的導(dǎo)入/導(dǎo)出功能（選配）

產(chǎn)品應(yīng)用：

主要應(yīng)用于生物學(xué)和醫(yī)學(xué)、微納米技術(shù)，可以非接觸式測量生物醫(yī)學(xué)樣品、電子元件和微結(jié)構(gòu)如MEMS等精密結(jié)構(gòu)的振動(dòng)、聲學(xué)和動(dòng)力學(xué)特性。

英鉑減震桌

產(chǎn)品介紹：

防震桌作為器件測試中不可缺少的一部分，可以有效隔絕測試過程中發(fā)生的震動(dòng)，使測試結(jié)果更加精確。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 有效隔絕震動(dòng) ＜2.5Hz頻率

• 搭配薄膜空氣氣囊隔振功效

• 內(nèi)置高精度機(jī)械閥，自動(dòng)平衡充氣

• 內(nèi)置防靜電電源拖線板

• 具備多元化模塊升級(jí)，如暗箱、儀表托架、內(nèi)外置顯示器支架等

• 可搭配不同需要防震設(shè)備，最大承重350kg（較大重量或特殊尺寸要求可支持定制）

產(chǎn)品應(yīng)用：

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件測試等領(lǐng)域。