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2023-05-24 10:09:59 英鉑科學(xué)儀器（上海）有限公司

裝機產(chǎn)品：TS150、TS200-SE、TS3000-SE

TS150

產(chǎn)品介紹：

TS150應(yīng)用于測試半導(dǎo)體晶圓級、器件類電學(xué)特性，具備可以快速拖動樣品臺，更換樣品功能，并且有著獨特Platen平臺設(shè)計，測試重復(fù)性提高95%。MPI 全系列探針臺具備模塊化設(shè)計,可搭配不同變倍比顯微鏡，同時與德國ERS聯(lián)合開發(fā)設(shè)計具有氣冷溫控技術(shù)的Thermal Chuck同步使用。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、氣浮式樣品移動系統(tǒng)

MPI獨特的氣墊載物臺設(shè)計，具有簡單的單手冰球控制，為操作人員提供了很強的便利性，可實現(xiàn)快速XY導(dǎo)航和快速晶圓裝載，同時又不影響精確的定位功能。

2、高度調(diào)整比例

探針臺工作臺面具有25毫米的精細(xì)高度調(diào)節(jié)，支持各種應(yīng)用，獨特的1mm精確刻度可準(zhǔn)確指示當(dāng)前位置。

3、多種卡盤選項

手動系統(tǒng)可提供多種卡盤選項，以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用需求。

4、多種光學(xué)系統(tǒng)選擇

提供多種光學(xué)器件，可以在用于普通DC / CV應(yīng)用的立體聲或用于射頻配置的單管MPI SZ10或MZ12之間進(jìn)行選擇。

5、屏蔽系統(tǒng)

暗箱為超低噪聲直流測量提供EMI屏蔽和不透光的測試環(huán)境。

6、多種光學(xué)系統(tǒng)選擇

提供多種光學(xué)器件，可在普通DC / CV應(yīng)用的立體聲或射頻配置的單管MPI SZ10或MZ12之間進(jìn)行選擇。

產(chǎn)品應(yīng)用：

適用于多種晶圓量測應(yīng)用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統(tǒng) (MEMS) 和高功率 (HP)。

TS200-SE

產(chǎn)品介紹：

MPI TS200-SE 8英寸探針臺可提供高級EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測量功能。

1、適用于多種晶圓量測應(yīng)用，如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計的精密量測環(huán)境

3、支援飛安級低漏電量量測

4、溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的屏蔽系統(tǒng)，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境。

2、ShielDCap™

MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于多種搭配，在簡化日常操作方面發(fā)揮了重要作用；完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探針卡支架替換。

3、空氣軸承

MPI獨特的氣墊載物臺設(shè)計，具有簡單的單手冰球控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了操作的便利性，同時又具有額外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。

4、溫度控制集成

晶圓裝載門可以在15°C以下的任何溫度下鎖定，此獨特功能使TS200-SE成為市場上安全的手動探針臺，此外，溫控系統(tǒng)可以通過集成式的觸摸屏來操作，該觸摸屏放置在操作員面前的便利位置，以實現(xiàn)快速的反饋。

5、ERS獨特的AC3冷卻技術(shù)

MPI旗下探針臺系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術(shù)及其空氣管理系統(tǒng)，可減少多達(dá)30%至50%的干燥空氣消耗。

6、多種光學(xué)系統(tǒng)選擇

MPI光學(xué)器件可以選擇單筒顯微鏡MPI SuperZoom™SZ10，高達(dá)12倍光學(xué)變焦的MegaZoom™MZ12或超過42毫米工作距離的EeyZoom™EZ10 ——其具有人體工程學(xué)20倍目鏡的10倍光學(xué)變焦系統(tǒng)，90mm工作距離和低至2um以下的光學(xué)分辨率。