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交付案例

英鉑助天府興隆湖實驗室搭建8寸晶圓級高低溫電學測試系統(tǒng)返回列表

裝機產(chǎn)品:MPI TS2000-IFE & Keithely 4200A-SCS

MPI TS2000-IFE全自動探針臺

產(chǎn)品介紹:

MPI的TS2000-IFE是全自動200mm探針臺測試系統(tǒng),可在開放式的環(huán)境下做高低溫測試,專門為產(chǎn)品工程,故障分析,設計驗證,晶圓級可靠性以及RF和mmW應用而設計。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

2、溫度范圍-60°C至300°C

3、較強的靈活性

4、具有特定設計的電纜接口,大大縮小與功能測試儀之間的電纜距離,實現(xiàn)更好的測量方向性

5、具備可升級全自動探針臺的基礎,可裝載5片不同支持或者25片的晶圓的裝載

6、較小的卡盤到工作臺面高度可實現(xiàn)不錯的內(nèi)部節(jié)點探測

7、通過在內(nèi)部集成熱系統(tǒng)的冷卻器,將系統(tǒng)占地面積降至較低

產(chǎn)品應用

專門為產(chǎn)品工程,故障分析,設計驗證,晶圓級可靠性以及RF和mmW應用而設計。

Keithely 4200A-SCS參數(shù)分析儀

產(chǎn)品介紹:

4200A-SCS是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V特性。作為性能很高的參數(shù)分析儀,4200A-SCS加快了半導體、材料和工藝開發(fā)速度。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1、隨時可以投入使用、可以修改的應用測試、項目和器件,縮短測試開發(fā)時間

2、內(nèi)置測量視頻的儀器,測試視頻由全球應用工程師提供,分為4種語言,縮短學習周期

3、pin to pad接觸檢查,確保測量可靠

4、多種測量功能

5、數(shù)據(jù)顯示、分析和代數(shù)運算功能

6、專家視頻,降低特性分析復雜度

7、大量隨時可以使用的應用測試可供選擇,通過Clarius庫中裝備的450多項應用測試,只需三步,Clarius Software就可以引導新用戶像專家一樣完成參數(shù)分析。

8、實時結(jié)果和參數(shù),自動數(shù)據(jù)顯示、算法分析和實時參數(shù)提取功能,加快獲得所需信息的速度。不必擔心數(shù)據(jù)丟失,因為所有歷史數(shù)據(jù)都會保存下來。

9、無需示波器檢驗脈沖測量,脈沖定時預覽模式可以簡便地查看脈沖定時參數(shù),。使用瞬態(tài)I-V或波形捕獲模式,進行基于時間的電流或電壓測量,而無需使用外部示波器。

產(chǎn)品參數(shù):

●I-V源測量單元(SMU)

●± 210 V/100 mA或± 210 V/1 A模塊

●100 fA測量分辨率

●選配前端放大器提供了10 aA測量分辨率

●10 mHz - 10 Hz超低頻率電容測量

●四象限操作

●2線或4線連接

C-V多頻率電容單元(CVU)

●AC阻抗測量(C-V, C-f, C-t)

●1 kHz - 10 MHz頻率范圍

●± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源,可以擴展到± 210 V(420 V差分)

脈沖式I-V超快速脈沖測量單元(PMU)

●兩個獨立的或同步的高速脈沖I-V源和測量通道

●200 MSa/s,5 ns采樣率

●±40 V (80 V p-p),±800 mA

●瞬態(tài)波形捕獲模式

●任意波形發(fā)生器,支持多電平脈沖波形,10 ns可編程分辨率

產(chǎn)品應用:

MOSFET, BJT 晶體管;材料特性分析;非易失性存儲設備;電阻率系數(shù)和霍爾效應測量;NBTI/PBTI;III-V 族器件;失效分析;納米器件;二極管和 pn 聯(lián)結(jié);太陽能電池;傳感器;MEMS器件;電化學;LED和OLED。

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