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交付案例

英鉑攜手RKD助力蘇州龍馳半導(dǎo)體搭建器件失效分析開封系統(tǒng)返回列表

裝機(jī)產(chǎn)品:Elite Etch Cu 化學(xué)開封機(jī)

產(chǎn)品介紹:

RKD的Elite Etch Cu是一臺(tái)可為銅線開封的化學(xué)開封機(jī),可實(shí)現(xiàn)更高的產(chǎn)能。這臺(tái)開封機(jī)可以將精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到樣品器件上,開封直徑為0.8mil銅線的塑封料。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

1、大大提高封裝材料的去除效率

每一次微等分的酸被輸送到刻蝕腔內(nèi),由于泵產(chǎn)生的的壓力將會(huì)創(chuàng)造出非常大的湍流,特殊設(shè)計(jì)的酸熱交換器能夠在最高達(dá)8ml每分鐘的流量?jī)?nèi)精的確將酸溫度控制在10℃到250℃范圍內(nèi)。

2、刻蝕頭具有很強(qiáng)的耐酸性

Elite Etch Cu配置了一個(gè)酸控制器刻蝕頭,由優(yōu)質(zhì)碳化硅材料制造而成,并親可降低在開封工藝結(jié)束時(shí)殘留在刻蝕頭上殘留酸的煙化現(xiàn)象。

3、操作簡(jiǎn)單,安全便捷

在瓶子容器和開封器之間的所有流體接口都采用雙重密封;瓶子容器采用了旋轉(zhuǎn)互聯(lián)并配置流體傳感器。

4、節(jié)省N2氣消耗

采用自動(dòng)高低壓氣體轉(zhuǎn)換系統(tǒng)和安全蓋內(nèi)部安全氣壓補(bǔ)充;光纖感應(yīng)傳感器可檢測(cè)開封時(shí)刻蝕罩蓋上后的密合度。

產(chǎn)品應(yīng)用:

主要適用于各種類型的銅線開封。

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