產(chǎn)品介紹：

TS300-DP探針臺應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓級、器件類電學(xué)特性，具備單手可快速拖動樣品臺，快速位移到所需位置，并且有著獨(dú)特Platen平臺設(shè)計，測試重復(fù)性顯著提高95%。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、氣浮式樣品移動系統(tǒng)

MPI獨(dú)特的氣墊載物臺設(shè)計，單手控制，為操作人員提供了很強(qiáng)的便利性，可實(shí)現(xiàn)快速XY導(dǎo)航和快速晶圓裝載，同時又不影響精確的定位功能

2、高度調(diào)整

針座平臺具備20毫米的精細(xì)高度調(diào)節(jié)，以支持各種應(yīng)用。獨(dú)特的1mm刻度可精確的顯示當(dāng)前位置

3、多種卡盤選項(xiàng)

手動系統(tǒng)可提供多種卡盤選項(xiàng)，以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用需求?？ūP選件包括MPI的同軸、三軸、高功率chuck或多種ERS高溫chuck，以支持高達(dá)300°C的溫度測量

4、緊湊堅固的 Platen 平臺

緊湊而堅固的壓盤設(shè)計可容納多達(dá)10個DC或四個RF微型定位器，滿足多種應(yīng)用需求

5、多種光學(xué)系統(tǒng)選擇

提供多種光學(xué)器件，如單筒金相顯微鏡SZ10或MZ12之間進(jìn)行選擇

6、振動隔離平臺

手動系統(tǒng)包括減震基座，以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠的探針與待測器件的長期接觸，從而確?？煽糠€(wěn)定的測量結(jié)果。

7、可升級的屏蔽系統(tǒng)

暗箱為超低噪聲直流測量提供EMI屏蔽和不透光的測試環(huán)境

產(chǎn)品應(yīng)用：

適用于多種晶圓及器件級量測應(yīng)用，如組件的電學(xué)特性描述和建模，晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 和高功率 (HP)等。