產(chǎn)品介紹：

PIONEERSEM 是一款集成高分辨電子束光刻和掃描電子束成像雙功能的納米圖形制作系統(tǒng)，系統(tǒng)主要由真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)、樣品室和樣品臺(tái)、用于成像和光刻掃描的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)及圖形發(fā)生器、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及系統(tǒng)控制軟件等組成。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1.專業(yè)的電子束曝光軟件包基于Windows操作系統(tǒng)用于圖形設(shè)計(jì)編輯、參數(shù)設(shè)定、系統(tǒng)控制、結(jié)果成像度量等

2.多用戶管理，每個(gè)用戶使用獨(dú)立的文件和參數(shù),操作方便，設(shè)計(jì)人性化

3.無縫集成GDSII編輯器，可分層設(shè)計(jì)復(fù)雜圖形

4.數(shù)據(jù)輸入格式為GDSII, DXF, ASCII, CIF等

5.電子束掃描方式多種多樣，可根據(jù)曝光圖形任意設(shè)定：

·矢量掃描模式，線性掃描或蛇形掃描

·任意形狀的單像素線/點(diǎn)進(jìn)行曝光

·圓形掃描模式，通過軸對(duì)稱快速填充保證圓形類結(jié)構(gòu)的光滑，并降低數(shù)據(jù)量以提高數(shù)據(jù)處理速度

·縱向、橫向，或按照任意角度的方向掃描

·位圖光柵掃描等

產(chǎn)品應(yīng)用：

具有多種電子束掃描方式，可制備均勻的納米級(jí)圖形，同時(shí)配備軸向和非軸向兩個(gè)二次電子探測(cè)器，可實(shí)現(xiàn)高分辨的成像及精密測(cè)量功能。