產(chǎn)品介紹：

TS150是MPI 6英寸手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)，可以提供準(zhǔn)確可靠的DC/CV, RF和高功率測(cè)量。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1、設(shè)計(jì)用于多種應(yīng)用測(cè)試，如器件表征與建模，晶圓級(jí)可靠性，失效分析，IC工程，MEMS和大功率等

2、具備人體工學(xué)設(shè)計(jì)

•獨(dú)有氣浮式快速移動(dòng)機(jī)構(gòu)專利，可快速單手操作，并搭配微調(diào)以滿足高精度調(diào)節(jié)

•針座平臺(tái)可容納多達(dá)10個(gè)直流或4個(gè)射頻定位器

•針座平臺(tái)具備三檔抬桿功能，接觸（contact），分離（separation)，裝載（load）

3、可升級(jí)性

•可提供各種卡盤選項(xiàng)和配件，如DC/RF/毫米波微定位器，光學(xué)器件，微管

• 可升級(jí)高溫系統(tǒng)